[实用新型]以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备有效
| 申请号： | 201320626805.8 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN203529936U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 应盛荣;姜战;应悦 | 申请（专利权）人： | 应悦 |
| 主分类号： | C01B21/068 | 分类号： | C01B21/068;C01B21/083 |
| 代理公司： | 北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 耿映曦 |
| 地址： | 100036 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化 氮气 生产 氮化 设备 | ||
【权利要求书】：
1.以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备，其特征在于，包括等离子体发生器、等离子体反应器、冷却室、气固分离室、三氟化氮精制装置；所述等离子体发生器与等离子体反应器相连通，所述等离子体反应器的出料口与冷却室的进料口相连通，所述冷却室还设有低温氮气输入口，所述冷却室的出料口与气固分离室的进料口相连通，所述气固分离室的气相出料口与三氟化氮精制装置的进料口相连通，所述气固分离室的固相出料口为氮化硅排出口，所述三氟化氮精制装置设有三氟化氮排出口和废气排出口。
2.根据权利要求1所述的以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备，其特征在于，还包括氮气净化回收装置，所述氮气净化回收装置的进料口与三氟化氮精制装置的废气排出口相连通，所述氮气净化回收装置的出料口与等离子体反应器的进料口相连通。
3.根据权利要求1所述的以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备，其特征在于，还包括气封出料螺旋和高温结晶炉，所述气封出料螺旋的进料口与气固分离室的固相出料口相连接，所述气封出料螺旋的出料口与高温结晶炉的进料口相连接。
4.根据权利要求1～3任一所述的以四氟化硅和氮气生产氮化硅和三氟化氮的设备，其特征在于，所述等离子体反应器外设有反应热冷却器。
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