[实用新型]等离子体激励器有效
| 申请号： | 201320621984.6 | 申请日： | 2013-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN203554775U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 李伟鹏;张屹;李斌;王建航;刘娟;邱昇;苏盛春 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 31201 | 代理人： | 王毓理;王锡麟 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 等离子体 激励 | ||
【权利要求书】：
1.一种等离子体激励器，其特征在于，包括：绝缘介质、设置于绝缘介质上表面的裸露电极和内置于绝缘介质底部的掩埋电极，其中：裸露电极的表面形成网格形状。
2.根据权利要求1所述的等离子体激励器，其特征是，所述的网格形状中网格单元的具体几何形状为正方形、等边三角形、圆形、矩形或菱形。
3.根据权利要求1或2所述的等离子体激励器，其特征是，所述的网格形状由裸露电极表面的金属线形成，该金属线的宽度大于等于0.1mm。
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