[实用新型]真空镀膜机减压装置有效
| 申请号： | 201320618117.7 | 申请日： | 2013-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN203546140U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 陈显东 | 申请（专利权）人： | 上海宏昊企业发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人： | 冯子玲 |
| 地址： | 201409 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 减压 装置 | ||
1.真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，其特征在于，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，所述升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；
所述1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；
所述2号升级用罗茨泵的进气口与所述1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；
所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组联通。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组包括至少三个罗茨泵，所述第二罗茨泵组包括至少二个罗茨泵，所述第三罗茨泵组包括至少三个罗茨泵。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组包括三个罗茨泵，所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室下室的下方。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第二罗茨泵组包括二个罗茨泵，所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室上室的左侧。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第三罗茨泵组包括三个罗茨泵。
6.根据权利要求1至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室下室之间均设有一阀门；
所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室上室之间也均设有一阀门。
7.根据权利要求1至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室之间以及与第一罗茨泵组之间均设有一阀门。
8.根据权利要求1至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组之间设有一阀门。
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