[实用新型]带有电磁合轴装置的电子枪

权利要求书

1.带有电磁合轴装置的电子枪，包括依次呈同轴对中布设的阴极（1）、聚束极（2）、阳极（3）、聚焦装置（5）和偏转扫描装置（6）；阴极（1）产生的电子束（7）依次经过聚束极（2）、阳极（3）、聚焦装置（5）和偏转扫描装置（6）后汇聚到工件（8）上；其特征在于：在电子束（7）飞行路径上的阳极（3）与聚焦装置（5）之间设置有电磁合轴装置（4）；该电磁合轴装置（4）主要由铁甲（4-1）、以及设置在铁甲（4-1）内的聚焦磁场磁隙（4-3）、聚焦绕组（4-2）和偏转绕组（4-4）组成；铁甲（4-1）的中部留有供电子束（7）通过的电子束（7）通道；聚焦磁场磁隙（4-3）朝向电子束（7）通道；聚焦绕组（4-2）与供电电源相连，通电后聚焦绕组（4-2）产生平行于电子束（7）飞行参考方向的磁场；偏转绕组（4-4）包括X、Y两组绕组，X、Y两组绕组各与一独立的供电电源相连，通电后X、Y两组绕组产生垂直于电子束（7）飞行参考方向的磁场。

2.根据权利要求1所述的带有电磁合轴装置的电子枪，其特征在于：聚焦绕组（4-2）的供电电源为可调的直流电源，偏转绕组（4-4）的供电电源为独立两路的可调双极性直流电源。