[实用新型]一种液体喷涂装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及TFT-LCD（薄膜晶体管型液晶显示屏）制造工艺，尤其涉及TFT（薄膜晶体管）器件的工艺制造中的用于对待喷涂部件进行液体喷涂的液体喷涂装置。

背景技术

目前大尺寸TFT面板工艺制作过程中，在部件的表面进行液体喷涂，存在部件边缘液体不均匀的现象，特别是现在越来越多窄边设计的产品，例如在TFT AA（有效）区外设计GOA（阵列基板行驱动），为了提高TFT特性对边缘显影的技术要求越来越高。

例如：在涂胶曝光后的部件的表面进行液体显影，面板边缘区域会出现液坑，边缘显影液分布不均匀，容易导致边缘处CD uniformity（关键尺寸均匀）变差，严重时候，曝光后显影不充分的地方容易在刻蚀过程中产生残留物。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种液体喷涂装置，避免待喷涂部件边缘的不均匀现象。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种液体喷涂装置，包括：用于承载待喷涂部件的承载台，以及液体喷头装置；还包括：

用于在喷涂过程中与待喷涂部件的边缘相连接、以扩大喷涂面积的拼接部件。

进一步的，所述承载台相对的两侧分别设有支架，所述拼接部件可移动的设置在所述支架上。

进一步的，所述支架上设有导轨，以及用于控制所述拼接部件在所述导轨上移动的驱动部件，所述拼接部件设置在所述导轨上。

进一步的，还包括用于感应所述拼接部件与待喷涂部件之间的距离、并向所述驱动部件发送信号的感应部件，所述感应部件设置在所述承载台上、并与所述驱动部件连接。

进一步的，所述支架与所述承载台枢接，所述支架具有第一状态和第二状态，所述第一状态为喷涂过程中所述支架与所述承载台平行，所述第二状态为喷涂前和喷涂后所述支架向下翻折与所述承载台垂直。

进一步的，在所述支架位于所述第一状态时，所述拼接部件的喷涂表面与待喷涂部件的喷涂表面位于同一水平面。

进一步的，所述拼接部件为矩形结构，该矩形结构具有与待喷涂部件的边缘相连接的第一侧，所述第一侧的长度不小于待喷涂部件的边缘的长度。

进一步的，所述拼接部件的厚度与待喷涂部件的厚度相同。

进一步的，还包括用于将承载待喷涂部件的所述承载台运送到所述液体喷头装置的下方的传送装置。

本实用新型的有益效果是：将待喷涂部件边缘液体不均匀的现象转移到拼接部件上，实现部件利用的最大化，提高液晶产品的整体性能。

附图说明

图1表示待喷涂部件放置在承载台上的状态示意图；

图2表示支架向上翻着至于承载台平行的状态示意图；

图3表示拼接部件与待喷涂部件紧密接触的状态示意图；

图4表示待喷涂部件进行液体喷涂的状态示意图；

图5表示液体喷涂结束、拼接部件远离部件状态示意图；

图6表示支架向下翻折至垂直承载台；

图7表示液体喷涂装置俯视结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的结构和原理进行详细说明，但仅仅是解释本实用新型，并非以此限定本实用新型的保护范围。

为了解决TFT制作工艺中部件边缘液体不均匀的现象，本实施例中提供一种液体喷涂装置，包括：

用于承载待喷涂部件的承载台；

液体喷头装置；

用于将承载待喷涂部件的所述承载台运送到所述液体喷头装置的下方的传送装置；

还包括：

用于在喷涂过程中与待喷涂部件的边缘相连接、以扩大喷涂面积的拼接部件。

将待喷涂部件边缘液体不均匀的现象转移到拼接部件上，实现部件利用的最大化，提高液晶产品的整体性能。

本实施例中，所述承载台相对的两侧分别设有支架，所述拼接部件可移动的设置在所述支架上。

在承载台上放置待喷涂部件后，所述拼接部件可向靠近待喷涂部件的方向移动，以使得所述拼接部件与待喷涂部件的边缘相连接；喷涂结束后，所述拼接部件可远离待喷涂部件，方便经过喷涂的待喷涂部件取下、以及下一个待喷涂部件的放置。

本实施例中，所述支架上设有导轨，以及用于控制所述拼接部件在所述导轨上移动的驱动部件，所述拼接部件设置在所述导轨上。

液体喷涂装置还包括用于控制所述拼接部件在所述导轨上移动的驱动部件。驱动部件的设置使得拼接部件可自动移动，节省人力资源。