[实用新型]微机电系统麦克风

权利要求书

1.一种微机电系统麦克风，其特征在于，包括：

内部电路基板，具备基板声孔；

微机电系统芯片，结合在具有所述基板声孔的位置，并具备微机电系统内部空间；

内部盖，与所述内部电路基板结合，形成包括所述微机电系统芯片的内部空间；

外部基板，固定所述内部电路基板；

外部盖，以包围所述内部盖的方式与所述外部基板结合，并具备能够从外部流入声音的外部声孔；

盖声音通道，形成于所述外部盖和所述内部盖之间，使通过所述外部声孔流入的声音通过；以及

相隔部件，结合并固定在所述内部电路基板和所述外部基板之间，并使所述内部电路基板和所述外部基板相隔开，

通过所述外部声孔流入的外部声音经过所述盖声音通道，并经过形成于所述内部电路基板和所述外部基板之间的空间，通过所述基板声孔传入到所述微机电系统内部空间。

2.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其特征在于，

所述内部盖和所述外部盖中的至少一个由金属制成。

3.根据权利要求2所述的微机电系统麦克风，其特征在于，

所述内部盖和所述外部盖为金属，

所述内部盖的下端部通过导电性粘接剂与所述内部电路基板结合，

所述外部盖的下端部通过导电性粘接剂与所述外部基板结合。

4.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其特征在于，

所述相隔部件为导电性部件。

5.根据权利要求4所述的微机电系统麦克风，其特征在于，

所述相隔部件为导电性环氧树脂部件。

6.根据权利要求1所述的微机电系统麦克风，其特征在于，

所述相隔部件沿以所述基板声孔的位置为中心的圆的圆周相隔设置多个。