[实用新型]一种多头激光蚀刻机

权利要求书

1.一种多头激光蚀刻机，包括有机柜底座和工作平台，所述工作平台嵌设于机柜底座，所述机柜底座内设置有控制系统，所述工作平台上方设置有龙门立柱和XY轴工作滑台，其特征在于：所述龙门立柱安装有多组激光控制系统和Z轴升降系统，所述每组激光控制系统均连接有CCD视觉系统，每组激光控制系统分别与控制系统单独电连接，所述Z轴升降系统和XY轴工作滑台交叉呈十字状；所述XY轴工作滑台上方水平安装有真空吸附平台，所述每组激光控制系统的下端面与真空吸附平台之间设置有间距。

2.根据权利要求1所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述激光控制系统包括有激光发生器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、振镜和场镜，所述激光发生器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、振镜、场镜通过固定架安装于龙门立柱，所述激光发生器、扩束镜和第一反射镜水平安装于龙门立柱上表面，所述激光发生器、扩束镜和第一反射镜的Y轴线重合；所述第二反射镜、振镜和场镜安装于第一反射镜下方，所述第一反射镜和第二反射镜的Z轴线重合，所述第二反射镜和振镜的X轴线重合，所述振镜和场镜的Z轴线重合。

3.根据权利要求1所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述激光控制系统包括有激光发生器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、振镜和场镜，所述激光发生器、扩束镜、第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜、振镜和场镜通过固定架安装于龙门立柱，所述激光发生器、扩束镜、第一反射镜和第三反射镜水平安装于龙门立柱上表面，所述激光发生器、扩束镜和第三反射镜的X轴线重合，所述第三反射镜和第一反射镜的Y轴线重合；所述第二反射镜、振镜和场镜安装于第一反射镜下方，所述第一反射镜和第二反射镜的Z轴线重合，所述第二反射镜和振镜的X轴线重合，所述振镜和场镜的Z轴线重合。

4.根据权利要求2所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述场镜安装有抽风罩，所述抽风罩的出风口正对真空吸附平台，所述抽风罩的进风口与抽风机连接。

5.根据权利要求1所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述龙门立柱的上表面设置有光路底板，所述激光控制系统通过固定架可拆卸安装于光路底板。

6.根据权利要求1所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述机柜底座上方配合设置有机罩，所述机罩安装有升降门，所述升降门设置有安全光栅，所述升降门与控制系统电连接。

7.根据权利要求6所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：还包括有操作系统，所述操作系统嵌设于机罩内，所述操作系统与控制系统电连接。

8.根据权利要求7所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述操作系统包括有显示器和键盘，所述显示器和键盘均嵌设于机罩内。

9.根据权利要求6所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述机罩安装有报警灯，所述报警灯与控制系统电连接。

10.根据权利要求1所述的一种多头激光蚀刻机，其特征在于：所述机柜底座设置有多个支撑脚。