[实用新型]双开门蓝宝石单晶生长炉腔室有效
申请号: | 201320595099.5 | 申请日: | 2013-09-24 |
公开(公告)号: | CN203530497U | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 陈有生 | 申请(专利权)人: | 上海朗兆机电设备有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/00 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 沈履君 |
地址: | 201415 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双开 蓝宝石 生长 炉腔室 | ||
技术领域
本实用新型属于蓝宝石单晶生产领域,特别是一种蓝宝石单晶生长炉腔室的双开门结构设计。
背景技术
蓝宝石单晶生长炉行业,传统上都是圆炉筒、上下合盖的结构。热场安装有两种主要方式:一、引晶部件旋转开一定的角度,让开腔室上部空间,在上开口进行吊装操作,完成热场安装;二、腔室上部留有适当的空间,将热场安放在下腔室盖上,通过下腔室盖的升降操作,完成热场安装。生产过程中下部热场的耗损和异常状况也不便于观察。热场的维护操作也不方便。EFG工艺方法的蓝宝石单晶生长炉腔室结构上也有侧面开门的结构,但仅限于单开门。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种方便热场的维护和操作的双开门蓝宝石单晶生长炉腔室。
为解决上述技术问题,本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室,包括:腔室主体;腔室门,所述腔室门的数量为两个,两个所述腔室门通过铰链销轴设置在所述腔室主体的两侧;锁扣,所述锁扣设置在所述腔室主体上,所述锁扣的位置与所述腔室门的位置相匹配。
在腔室主体上还设有密封圈。
本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室在腔室主体左右对开双门框,左右两扇腔室门通过铰链销轴联接在一起,门可以旋转打开关闭,腔室门与门框之间通过锁扣锁住或松开;对腔室主体内的一些操作,打开门就可以便利的进行。
附图说明
图1为本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室俯视图。
本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室附图中附图标记说明:
1-腔室主体 2-腔室门 3-铰链销轴
4-锁扣 5-密封圈
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室作进一步详细说明。
如图1所示,本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室,包括:腔室主体1;腔室门2,腔室门2的数量为两个,两个腔室门2通过铰链销轴3设置在腔室主体1的两侧,在腔室主体1上还设有密封圈5。锁扣4,锁扣4设置在腔室主体1上,锁扣4的位置与腔室门2的位置相匹配。
本实用新型双开门蓝宝石单晶生长炉腔室在腔室主体左右对开双门框,左右两扇腔室门通过铰链销轴联接在一起,门可以旋转打开关闭,腔室门与门框之间通过锁扣锁住或松开;对腔室主体内的一些操作,打开门就可以便利的进行。
以上已对本实用新型创造的较佳实施例进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本发明创造精神的前提下还可作出种种的等同的变型或替换,这些等同的变型或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
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