[实用新型]直拉法单晶炉用埚帮有效
申请号: | 201320594229.3 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN203653742U | 公开(公告)日: | 2014-06-18 |
发明(设计)人: | 李靖;李定武;周锐;李侨;田小雄 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 直拉法单晶炉用埚帮 | ||
技术领域
本实用新型属于单晶炉制造技术领域,涉及一种直拉法单晶炉用埚帮。
背景技术
随着世界经济的不断发展,现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的主要能源的一种,日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的基础材料的一种,有着广泛的市场需求。目前的单晶炉中拉制单晶硅棒时,盛放熔融原料的石英坩埚位于埚帮内。埚帮除了要承受原料的重量之外,还受到炉内高温与腐蚀作用。此外,在开炉停炉过程中,埚帮不断经历加热与冷却的循环过程。因此,埚帮是在实际使用过程中更换频率较高的热场部件之一。提高埚帮的使用寿命对于降低热场成本具有重要的意义。早期的埚帮多使用石墨材质,使用寿命不理想。近年来逐渐将碳碳材料应用于埚帮,常见的碳碳埚帮为整体式结构,拉晶后软化变形的石英坩埚会紧贴在埚帮内壁,必须用力敲击才能将二者分离。如此,严重影响埚帮的使用寿命。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种直拉法单晶炉用埚帮,解决现有埚帮不便拆装、使用寿命短的问题。
本实用新型的目的是这样实现的,直拉法单晶炉用埚帮,包括相互配合的埚碗和埚筒,埚筒由筒侧壁首尾相连围合而成。
本实用新型的埚帮便于取出石英坩埚,并且使用寿命长。
附图说明
图1是本实用新型直拉法单晶炉用埚帮的结构示意图;
图2是本实用新型直拉法单晶炉用埚帮的分解示意图;
图3为图2中III处的局部放大图。
图中,10.埚帮,11.埚碗,12.埚筒,13.连接结构,110.承载面,120.收容空间,121.连接槽,122.筒侧壁,1220.首端,1221.尾端,1222.第一端面,1223.第二端面,1224.顶面,1225.底面,1226.第一容置槽,1227.第二容置槽,1228.第一容置部,1229.第二容置部,1230.第三容置部,1231.第四容置部,1232.第一固定槽,1233.第一固定孔,1234.第二固定槽,1235.第二固定孔,124.间隙,130.连接体,131.固定件,132.第一臂,1320.第三固定槽,1321.第一固定部,1322.第三固定孔,133.第二臂,1330.第四固定槽,1331.第二固定部,1332.第四固定孔,134.连接臂。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型的埚帮进行详细说明。
参照图1和图2,直拉法单晶炉用埚帮10,包括埚碗11、埚筒12和连接结构13。埚筒12与埚碗11相互配合。埚碗11与埚筒12的材质可相同或不同,均可由碳碳复合材料或石墨制成。
埚碗11大致为碟状,其具有环形的承载面110。
埚筒12大致为筒状。埚筒12承载于埚碗11的承载面110,并与埚碗11共同构成一个一端开口的收容空间120。埚筒12具有两个连接槽121,一个靠近埚碗11,另一个远离埚碗11。
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