[实用新型]四氯化硅转化三氯氢硅反应器有效
申请号: | 201320593245.0 | 申请日: | 2013-09-25 |
公开(公告)号: | CN203513289U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 王彬;周齐领;李瑞芳;王任;彭斌 | 申请(专利权)人: | 中国成达工程有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 刘凯 |
地址: | 610041 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氯化 转化 三氯氢硅 反应器 | ||
1.四氯化硅转化三氯氢硅反应器,其特征在于:包括筒体(1)以及设置在筒体(1)上、下端的上封头(2)和下封头(3),在所述上封头(2)上设置有气体出口(4),在所述下封头(3)上设置有气体进口(5),在所述筒体(1)内、靠近下封头(3)一端设置有带风帽的气体分布板(6),在所述筒体(1)上部设置有至少一个硅粉进管(7),在所述筒体(1)内设置有至少一个测温元件(8)。
2.根据权利要求1所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器,其特征在于:所述上封头(2)呈椭圆状,所述下封头(3)呈锥形。
3.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器,其特征在于:所述硅粉进管(7)与硅粉自动加料系统连接。
4.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器,其特征在于:在所述气体出口(4)的管路上设置有急冷液喷淋。
5.根据权利要求2所述的四氯化硅转化三氯氢硅反应器,其特征在于:在所述反应器顶部上方设置有旋风分离器,所述旋风分离器的料腿插入反应器内部。
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