[实用新型]防止气管堵塞的装置有效
申请号: | 201320588430.0 | 申请日: | 2013-09-23 |
公开(公告)号: | CN203474891U | 公开(公告)日: | 2014-03-12 |
发明(设计)人: | 徐磊;张恒;姜志磊;李志超;傅晓斌 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防止 气管 堵塞 装置 | ||
1.一种防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述装置包括:
反应腔室、第一气管、第二气管、隔离装置和排气管路,其中,所述第一气管与所述反应腔室的侧壁相连,所述第二气管与所述排气管路的侧壁相连,所述排气管路与所述反应腔室底部相连,所述隔离装置与所述排气管路相固定。
2.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离装置包括隔离套桶、隔离板以及气缸,所述隔离套桶的一端与所述排气管路相固定,所述隔离套桶位于所述排气管路内,并与排气管路的侧壁保持距离,所述隔离板的一端固定在所述排气管路侧壁,另一端与所述气缸相固定。
3.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶与所述排气管路固定的一端设有密封圈。
4.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶的另一端设有橡胶圈。
5.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶的材质为不锈钢。
6.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离板的材质为不锈钢。
7.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括第一气动阀和第二气动阀,所述第一气动阀设于所述第一气管上,第二气动阀设于所述第二气管上,所述第一气动阀和第二气动阀均与所述气缸相连。
8.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括门阀,所述门阀设于所述反应腔室与所述排气管路之间。
9.如权利要求8所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述门阀与所述反应腔室、排气管路相连的部位设有密封圈。
10.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述排气管路为弹性螺纹状。
11.如权利要求10所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述排气管路的材质为不锈钢。
12.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括排气泵,所述排气泵与所述排气管路相连。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的