[实用新型]防止气管堵塞的装置有效

专利信息
申请号: 201320588430.0 申请日: 2013-09-23
公开(公告)号: CN203474891U 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 徐磊;张恒;姜志磊;李志超;傅晓斌 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: C23C16/455 分类号: C23C16/455
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 屈蘅;李时云
地址: 100176 北京市大兴区*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 防止 气管 堵塞 装置
【权利要求书】:

1.一种防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述装置包括:

反应腔室、第一气管、第二气管、隔离装置和排气管路,其中,所述第一气管与所述反应腔室的侧壁相连,所述第二气管与所述排气管路的侧壁相连,所述排气管路与所述反应腔室底部相连,所述隔离装置与所述排气管路相固定。

2.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离装置包括隔离套桶、隔离板以及气缸,所述隔离套桶的一端与所述排气管路相固定,所述隔离套桶位于所述排气管路内,并与排气管路的侧壁保持距离,所述隔离板的一端固定在所述排气管路侧壁,另一端与所述气缸相固定。

3.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶与所述排气管路固定的一端设有密封圈。

4.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶的另一端设有橡胶圈。

5.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离套桶的材质为不锈钢。

6.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述隔离板的材质为不锈钢。

7.如权利要求2所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括第一气动阀和第二气动阀,所述第一气动阀设于所述第一气管上,第二气动阀设于所述第二气管上,所述第一气动阀和第二气动阀均与所述气缸相连。

8.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括门阀,所述门阀设于所述反应腔室与所述排气管路之间。

9.如权利要求8所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述门阀与所述反应腔室、排气管路相连的部位设有密封圈。

10.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述排气管路为弹性螺纹状。

11.如权利要求10所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述排气管路的材质为不锈钢。

12.如权利要求1所述的防止气管堵塞的装置,其特征在于,所述防止气管堵塞的装置还包括排气泵,所述排气泵与所述排气管路相连。

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