[实用新型]一种涂胶装置有效
| 申请号： | 201320588203.8 | 申请日： | 2013-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN203610279U | 公开（公告）日： | 2014-05-28 |
| 发明（设计）人： | 胡锋涛;陈起伟;侯柏宇;邓觉为;罗建华;李斌;马金金;杜兴时 | 申请（专利权）人： | 西安神光安瑞光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/00 | 分类号： | B05C11/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 商宇科 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 涂胶 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种涂胶装置，包括依次连接的光刻胶瓶、胶泵和控制阀，其特征在于：该装置还包括设置在胶泵与控制阀之间的耐化学品腐蚀的过滤器。
2.根据权利要求1所述的涂胶装置，其特征在于：所述过滤器为囊式过滤器。
3.根据权利要求1或2所述的涂胶装置，其特征在于：所述过滤器为过滤精度为0.1μm的过滤器。
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