[实用新型]一种用于真空镀膜的屏蔽箱有效
| 申请号： | 201320582330.7 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN203559120U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 王朝阳;宫睿 | 申请（专利权）人： | 无锡启晖光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 徐冬涛 |
| 地址： | 214174 江苏省无锡市惠山经*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 屏蔽 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜的屏蔽箱，包括外壳（1）和屏蔽片（2），其特征在于所述的外壳（1）内设有多个独立设置的屏蔽片（2），屏蔽片（2）相互之间平行设置且每个屏蔽片（2）上皆设有多个通孔（3）。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的屏蔽箱，其特征在于所述的外壳（1）呈“凵”形且外壳（1）的内壁上设有沟槽，每个屏蔽片（2）皆沿相应的沟槽插入外壳（1）内。
3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的屏蔽箱，其特征在于所述的通孔（3）均匀分布在屏蔽片（2）且任两个屏蔽片（2）上的通孔（3）皆相互对应。
4.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的屏蔽箱，其特征在于所述的外壳（1）和屏蔽片（2）采用钢材、铜材、铝材或合金材料制成。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡启晖光电科技有限公司，未经无锡启晖光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320582330.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电解槽盐水进料管防腐保护装置
- 下一篇：全自动光养生物反应器
- 同类专利
- 专利分类
