[实用新型]一种覆铜箔基板真空吸附移载机

权利要求书

1.一种覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：包括安装在导轨（1）上并能沿所述导轨（1）滑行的机架（2），所述的机架（2）下方设有用于吸附覆铜箔基板的吸盘（3），所述的机架（2）上还设有驱动所述的吸盘（3）上下升降的驱动机构（4），所述的吸盘（3）包括吸盘本体（301），所述的吸盘本体（301）的底部设有多个真空吸嘴（302），所述的真空吸嘴（302）连接有抽真空装置（5），所述的吸盘（3）上还设有控制部分真空吸嘴（302）开关的控制装置（6）。

2.根据权利要求1所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的驱动机构（4）为设在所述的机架（2）上的丝杆升降机。

3.根据权利要求1所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的控制装置（6）包括控制所述的真空吸嘴（302）开关的开关阀（601），所述的开关阀（601）连接有驱动其完成开关动作的控制系统（602）。

4.根据权利要求1所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的抽真空装置（5）为叶片式真空泵。

5.根据权利要求1所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：在所述的吸盘（3）上还设有当所述的吸盘（3）升降时能在所述的机架（2）内上下滑行的导向杆（7）。

6.根据权利要求5所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的导向杆（7）为四根。

7.根据权利要求1所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的真空吸嘴（302）形成2列设于所述的吸盘本体（3）底部的两侧，并横向排成7排，所述的控制装置（6）可对所述的真空吸嘴（302）前两排和后两排中的任意一个真空吸嘴（302）进行开关控制。

8.根据权利要求7所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：在每列中相邻的真空吸嘴（302）的间距为80至100mm。

9.根据权利要求3所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的开关阀（601）为电磁阀。

10.根据权利要求9所述的覆铜箔基板真空吸附移载机，其特征在于：所述的电磁阀为两个。