[实用新型]拼接式PECVD载板导轨有效
申请号: | 201320578636.5 | 申请日: | 2013-09-17 |
公开(公告)号: | CN203451618U | 公开(公告)日: | 2014-02-26 |
发明(设计)人: | 尤耀明;龚建新 | 申请(专利权)人: | 无锡绿波新能源设备有限公司 |
主分类号: | C23C16/54 | 分类号: | C23C16/54 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214092 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 拼接 pecvd 导轨 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种导轨,具体的说是一种拼接式PECVD载板导轨,属于太阳能镀膜技术领域。
背景技术
C/C复合材料是一种新型高性能结构、功能复合材料,具有高强度、高模量、高断裂韧性、高导热、隔热优异和低密度等优异特性,在机械、电子、化工、冶金和核能等领域中得到广泛应用,并且在航天、航空和国防领域中的关键部件上大量应用。
C/C复合载板是应用C/C复合材料的载板,是板式PECVD中承载电池片中的重要工艺装备。载板在设备上的循环运动是通过固定在载板底下的石墨垫片与C/C复合导轨来实现的,C/C复合载板、石墨垫片、C/C复合导轨三者是通过螺丝螺母完成紧固的;运动时,C/C复合导轨置于设备的滚轮上的,滚轮转动时通过摩擦将动力提供给C/C复合导轨并使C/C复合载板完成在设备上的循环运动。此导轨由于中间安装一条C/C条,使用过程中C/C条的磨损最大,故使用及维护中C/C条经常要更换;而C/C复合材料价格高,经常更换增加了用户的使用成本。
发明内容
本实用新型的目的在于克服上述不足之处,从而提供一种拼接式PECVD载板导轨,在保持原来导轨使用性能不变的情况下,降低使用维护成本。
按照本实用新型提供的技术方案,拼接式PECVD载板导轨包括多个导轨分段,其特征是:每个导轨分段的首尾端设有互相配合连接的嵌入式连接头和嵌入式连接槽,多个导轨分段通过嵌入式连接头和嵌入式连接槽串联连接成一体。
进一步的,导轨分段为长条形。
进一步的,导轨分段采用C/C复合材料制作。
本实用新型与已有技术相比具有以下优点:
本实用新型结构简单、紧凑、合理,利用边角废料构成拼接式的导轨,降低了使用成本和维护更换的成本。
附图说明
图1为本实用新型结构示意图。
附图标记说明:1-导轨分段、2-嵌入式连接头、3-嵌入式连接槽。
具体实施方式
下面本实用新型将结合附图中的实施例作进一步描述:
如图1所示,本实用新型主要包括多个长条形的导轨分段1,每个导轨分段1的首尾端设有互相配合连接的嵌入式连接头2和嵌入式连接槽3。
多个导轨分段1通过嵌入式连接头2和嵌入式连接槽3串联连接成一体。
所述导轨分段1采用C/C复合材料制作。
所述嵌入式连接头2和嵌入式连接槽3连接后用耐高温胶水粘接加固。
本实用新型的工作原理是:利用边角废料制作多个长条形的导轨分段1,再采用多个长条形的导轨分段1互相连接成一体的载板导轨。当载板导轨其中一个导轨分段1磨损时,只要更换这一个导轨分段1,降低了使用成本和维护成本。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的