[实用新型]CIT带温湿度、压差检测的超净工作台

权利要求书

1.CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，包括柜体，其特征在于，还包括设置于柜体上用于检测柜体工作区域温湿度数据的温湿度传感器、用于接收温湿度传感器传输信号的可编程逻辑控制器、用于显示可编程逻辑控制器传输信号的文本显示器；可编程逻辑控制器的信号输入端和温湿度传感器的信号输出端连接，可编程逻辑控制器的信号输出端和文本显示器的信号输入端连接。

2.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，所述温湿度传感器的感应探头固定于柜体工作区域的进风口处。

3.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，还包括设置于柜体内的风机过滤单元机组；所述风机过滤单元机组和所述可编程逻辑控制器连接，其中，所述风机过滤单元机组包括风机和高效过滤器，风机和高效过滤器为一体式结构。

4.根据权利要求3所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，还包括设置于柜体上的压差传感器，所述压差传感器上设有用于检测高效过滤器内部和外部之间压差数据的内压力接口和外压力接口，所述内压力接口连接一软管的一端，所述软管的另一端延伸至风机下方和高效过滤器上方形成的空腔内，所述外压力接口连接另一软管的一端，所述另一软管的另一端延伸至高效过滤器下方和柜体工作区域形成的空腔内；

所述可编程逻辑控制器还用于接收压差传感器的传输信号，可编程逻辑控制器的信号输入端还和压差传感器的信号输出端连接，可编程逻辑控制器的信号输出端和文本显示器的信号输入端连接。

5.根据权利要求4所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，所述软管为塑料软管或金属软管。

6.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，还包括设置于柜体上用于报警的蜂鸣器和/或LED灯，蜂鸣器和/或LED灯和可编程逻辑控制器的信号输出端连接。

7.根据权利要求4所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，还包括设置于柜体上用于根据压差传感器的检测结果进行报警的蜂鸣器和/或LED灯，蜂鸣器和/或LED灯和可编程逻辑控制器的信号输出端连接。

8.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，所述温湿度传感器壳体上设有用于显示检测的温湿度数据的液晶显示屏。

9.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，所述温湿度传感器的感应探头固定于柜体工作区域内表面顶部的进风口处。

10.根据权利要求1所述的CIT带温湿度、压差检测的超净工作台，其特征在于，所述温湿度传感器的感应探头固定于柜体工作区域内表面背部的进风口处。