[实用新型]一种真空镀膜用钨制旋压坩埚有效
申请号: | 201320568681.2 | 申请日: | 2013-09-13 |
公开(公告)号: | CN203546134U | 公开(公告)日: | 2014-04-16 |
发明(设计)人: | 王小淼;耿宏安 | 申请(专利权)人: | 洛阳爱科麦钨钼制品有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24 |
代理公司: | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人: | 苗强 |
地址: | 471000 河南*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 用钨制旋压 坩埚 | ||
1.一种真空镀膜用钨制旋压坩埚,其特征在于:包括一体结构的纯钨制坩埚本体,所述坩埚本体包括圆锥台形的坩埚壳体(1),坩埚壳体(1)底部的直径小于其上端口部的直径,所述的坩埚壳体(1)侧壁的壁厚从上端口部至底部由1mm逐渐线性增加至3mm,坩埚壳体(1)侧壁的顶端设有直径大于上端口部直径的外沿(2),外沿(2)的上表面与其壳体外壁之间形成夹角。
2.如权利要求1所述的一种真空镀膜用钨制旋压坩埚,其特征在于:所述坩埚壳体(1)侧壁顶端的外沿(2)与侧壁之间倒圆角过渡。
3.如权利要求1所述的一种真空镀膜用钨制旋压坩埚,其特征在于:所述坩埚壳体(1)的内底面与其壳体内壁之间倒圆角过渡。
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