[实用新型]硅片清洗机排风口冷凝回流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏领域，具体涉及一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置。

背景技术

硅片在经过一系列的加工程序之后需要进行清洗，清洗的目的是要消除吸附在硅片表面的各类污染物，并制做能够减少表面太阳光反射的绒面结构（制绒），且清洗的洁净程度直接影响着电池片的成品率和可靠率。硅片的清洗制绒是在清洗机上实现的，清洗机上配置若干工艺槽位，用户手动上料后全过程由机械传动装置完成腐蚀、清洗等工艺过程。

清洗机每个工位上的机体内部通常设有排风口，水汽在吸力作用下向排风口流动，在接近排风口时会在排风口附近的机体顶部上凝结一层小水珠，这些悬挂在排风口附近的水珠滴落在硅片表面会污染硅片表面，影响硅片制绒清洗的质量。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，凝结在排风口附近的小水珠统一流到机壁处后流到工艺槽内，不会直接滴落到硅片上，保证硅片的制绒清洗效果。

本实用新型通过以下技术方案实现：

硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括清洗机工艺槽一侧的排风管，由所述排风管的吸风口为起始端向下倾斜设置有一块回流板，所述回流板的末端与清洗机的内壁固定连接。

本实用新型进一步的改进方案是，所述回流板相对于水平面的倾角为15-50°。

本实用新型和现有技术相比具有以下优点：

本实用新型在排风口附近增设回流板，聚集在排风口附近的的水汽就会顺着回流板流到机壁上，进而沿着机壁向下流到工艺槽内，不会直接滴落到硅片上，不会对已经完成工位操作的硅片表面造成污染，保证硅片制绒清洗的质量。

附图说明

图1为本实用新型侧视结构示意图。

具体实施方式

如图1所示的硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括清洗机工艺槽1一侧的排风管2，由所述排风管2的吸风口为起始端向下倾斜设置有一块回流板3，所述回流板3的末端与清洗机的内壁4固定连接。这样聚集在排风口附近的的水汽就会顺着回流板流到机壁上，进而沿着机壁向下流到工艺槽内，不会对已经完成工位操作的硅片表面造成污染。

本实施例中，回流板3相对于水平面的倾角为15°，能够起到很好的回流效果。