[实用新型]一种石英真空吸笔有效
| 申请号： | 201320568434.2 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203423157U | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 陈前兆;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;高超 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 真空 | ||
【权利要求书】：
1. 一种石英真空吸笔，包括内部连通的石英吸管（1）和石英吸盘（2），其特征在于：所述石英吸管（1）的一端斜向上延伸后与所述石英吸盘（2）的中部固定连接。
2. 如权利要求1所述的一种石英真空吸笔，其特征在于：所述石英吸盘（2）垂直固定在所述石英吸管（1）斜向上延伸段的末端。
3. 如权利要求2所述的一种石英真空吸笔，其特征在于：所述石英吸管（1）斜向上延伸段的垂直高度为3-5mm。
4. 如权利要求3所述的一种石英真空吸笔，其特征在于：所述石英吸管（1）的斜向上延伸段与水平方向的夹角为30-50°。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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