[实用新型]扩散炉排风装置有效
| 申请号： | 201320568363.6 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203432380U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 郑银先;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;陈前兆;华贵俊;高超 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | F27D17/00 | 分类号： | F27D17/00 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扩散 炉排风 装置 | ||
【权利要求书】：
1. 扩散炉排风装置，包括扩散炉内的石英炉管（1），其特征在于：所述石英炉管（1）出口处一侧的炉体上竖直固定有一根排风管（2），所述排风管（2）上至少开设有一个进风口（3），所述排风管（2）的出风口与车间排风系统连通。
2. 如权利要求1所述的扩散炉排风装置，其特征在于：所述排风管（2）为方形管，所述进风口（3）分别开设在靠近所述石英炉管（1）出口处的相邻两个侧壁上。
3. 如权利要求2所述的扩散炉排风装置，其特征在于：所述进风口（3）上设有可调节开口大小的盖板（4）。
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