[实用新型]低量程溅射薄膜型测力传感器

权利要求书

1.一种低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：包括弹性体(1)、底座(2)、盖板(3)和连接螺杆(4)，所述的弹性体(1)的中部为薄片，所述的薄片上溅射有薄膜电阻应变敏感单元(7)；所述的底座(2)中心为凹陷结构，底座(2)和弹性体(1)固为一体，且弹性体(1)中部可在底座(2)的凹陷处产生形变；所述连接螺杆(4)的一端固定在弹性体(1)上，另一端作为拉力或压力的一个施力端。 

2.根据权利要求1所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的盖板(3)中心设置有通孔，所述的连接螺杆(4)穿过盖板(3)中心的通孔，其一端固定在弹性体(1)上，另一端作为拉力或压力的一个施力端；所述底座(2)的外端中心设置有延长杆(8)，并作为拉力或压力的另一个施力端。 

3.根据权利要求1所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的底座(2)中心设置有通孔，所述的连接螺杆(4)穿过底座(2)中心的通孔装入弹性体(1)中，连接螺杆(4)的外端作为拉力或压力的一个施力端；所述盖板(3)上均布有螺纹孔，可用于固定施力部件，并作为拉力或压力的另一个施力端。 

4.根据权利要求1或2或3所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的连接螺杆(4)与弹性体(1)的固定端设置有锁紧螺母(5)。 

5.根据权利要求1或2或3所述的低量程溅射薄膜型测力传感 器，其特征在于：所述弹性体(1)的中部为三个对称结构的弹性梁(9)，所述的弹性梁(9)呈中心对称结构，一端设置在弹性体(1)中心，另一端设置在弹性体(1)的外周，在弹性梁的表面溅射有薄膜电阻应变敏感单元(7)。 

6.根据权利要求5所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的薄膜电阻应变敏感单元(7)由内层的氧化硅介质膜和外层的镍铬合金膜组成。 

7.根据权利要求5所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的弹性梁(9)的宽度为1mm～3mm，厚度为0.3mm～1.0mm。 

8.根据权利要求5所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的弹性梁(9)的宽为1mm、2mm或3mm，厚度为0.3mm、0.6mm或1mm。 

9.根据权利要求1或2或3所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的底座(1)和弹性体(1)通过激光焊接在一起。 

10.根据权利要求或2或3所述的低量程溅射薄膜型测力传感器，其特征在于：所述的弹性体(1)、底座(2)、盖板(3)、连接螺杆(4)和锁紧螺母(5)的制作材料均为17-4PH不锈钢。