[实用新型]调节清洗刷压力的装置

权利要求书

1.一种调节清洗刷压力的装置，用于调节清洗刷对半导体晶圆表面的压力，其特征在于，所述装置包括：

控制系统、压力转换器、气压阀、气体管路、气缸、清洗刷以及皮带；其中，所述压力转换器与所述气压阀通过气体管路连接，所述压力转换器与所述控制系统信号连接；所述气缸与所述气压阀通过气体管路连接；所述清洗刷与所述气缸通过皮带连接。

2.如权利要求1所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述装置还包括压力调节器和电磁阀，所述压力调节器和电磁阀均设置在气体管路上，所述电磁阀与所述控制系统信号连接。

3.如权利要求1所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述气缸和清洗刷均为2个。

4.如权利要求3所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述皮带为4根。

5.如权利要求4所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述气缸的两端均设有拉伸臂，所述皮带一端与所述拉伸臂连接。

6.如权利要求5所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述清洗刷两端均设有滚动轴，所述皮带的另一端与所述滚动轴连接。

7.如权利要求3所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述半导体晶圆放置在所述清洗刷之间。

8.如权利要求1所述的调节清洗刷压力的装置，其特征在于，所述清洗刷表面设有若干凸点。