[实用新型]一种扫描电镜用薄片试样夹具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种物体夹持夹具，具体属于一种扫描电镜用薄片试样夹具。 

背景技术

扫描电镜实验室经常要分析薄片状试样，如薄片拉伸断口、硅片断口等。试样一般要竖立放置观察。 

目前，常用的试样竖立方法是用导电胶将试样粘附在试样座上固定，或者用金属挡块固定等。采用导电胶粘附固定，其存在的不足是由于试样自重以及导电胶具有一定的弹性，当图像高倍放大时，该方法很容易发生图像漂移。采用金属挡块固定存在定位的固定性差，图像同样易产生漂移。而且，以上两种方法均不能同时观察较多试样，即一次仅能扫描一个，且固定分析时需反复抽真空，导致工作效率低下。 

通过查新，在所查公开发表文献中，有关于一种扫描电镜用薄片试样夹具的报道，包括：用于电子背散射衍射测量的多功能样品台；包括固定块和滑动块的扫描电镜截面观测平台夹具；配有螺栓和弹簧片的扫描电镜分析样品座；用于镶嵌样品的扫描电镜专用夹具；扫描电子显微镜专用夹具；带有固定螺栓的扫描电镜样品台；扫描电镜电子背散射衍射原位拉伸装置；扫描电子显微镜多功能加载样品台；用于增强多样品检测的扫描电镜试样夹；用于扫描类电子显微镜的组合式试样夹具；用于扫描类电子显微镜的平面试样夹具。其解决的问题为有的用于背散射衍射实验或解决固定不牢或增加冷镶嵌样品的导电性等。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术存在的不足，提供一种试样放置的固定性好，能同时放置多片及不同厚度及宽度试样，图像不漂移，工作效率高的扫描电镜用薄钢板试样夹具。 

实现上述目的的技术措施： 

一种扫描电镜用薄片试样夹具，其在于：其由底座、在底座长度方向两端各连接的封板，连接于封板上的凹槽，由两个凹槽形成的槽形滑道、装在槽形滑道内的滑块、滑块上通过螺纹通孔连接的螺栓、底座与滑块之间的间隙组成。

本实用新型的特点在于：试样放置的固定性好，图像不漂移，能同时放置多片不同厚度及宽度规格试样，工作效率高，操作简单，易实施。 

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图； 

图2为图1中底座与槽形滑道连接后的A-A向视图；

图3为图1的俯视结构示意图；

图4为图1中滑块的结构示意图；

图中：1—底座，2—槽形滑道， 3—滑块，4—螺栓，5—封板，6—间隙，7—凹槽。

具体实施方式

下面结合附图做进一步描述： 

一种扫描电镜用薄片试样夹具：其由底座1、在底座1长度方向上采用焊接或铆接或螺栓连接在两侧连接的封板5，采用焊接或铆接连接于封板5上的凹槽7，由两个凹槽7形成的槽形滑道2、装在槽形滑道2内的滑块3、滑块3上通过螺纹通孔连接的螺栓4、底座1与滑块3之间的间隙6组成。

动作原理 

将试样片置入滑块3与底座1之间的间隙6，旋转螺栓4使螺栓4顶紧试样片即可，抽真空后即可进行试验；当要进行多片试验时，则选择相应个数的滑块3进行夹装。在槽形滑道2上滑动滑块3，即可调节滑块3与滑块3之间的间距，以适合不同宽度的试样。检测结束后，松开螺栓4，取出试样片。

本具体实施方式为最佳例举，并非对本实用新型技术方案的限制性实施。