[实用新型]解离装置及具有该解离装置的钨金属化学气相沉积设备

权利要求书

1.一种解离装置，设于钨金属化学气相沉积设备中，该钨金属化学气相沉积设备具有与该解离装置连通的反应室，其特征在于，该解离装置包括： 

解离腔，通入有三氟化氮气体； 

孔板，设置于该解离腔的开口处，在该孔板上具有一开孔，用于通入微波，将该三氟化氮气体解离为氟离子，用于与该反应室内残余的钨反应，其中该反应的结束时间与该开孔的面积成反比。 

2.如权利要求1所述的解离装置，其特征在于，该开孔为圆形孔。 

3.如权利要求2所述的解离装置，其特征在于，该圆形孔的直径d为4.5～5.5cm。 

4.如权利要求3所述的解离装置，其特征在于，该圆形孔的直径d为5.1cm。 

5.如权利要求1所述的解离装置，其特征在于，该开孔为椭圆形孔或多边形孔。 

6.如权利要求5所述的解离装置，其特征在于，该多边形孔为长方形孔。 

7.如权利要求5所述的解离装置，其特征在于，该多边形孔为方形孔。 

8.一种钨金属化学气相沉积设备，其特征在于，该钨金属化学气相沉积设备具有权利要求1-7其中之一所述的解离装置。