[实用新型]一种用于光刻机工件台的线缆台

权利要求书

1.一种用于光刻机工件台的线缆台，其特征在于：所述的线缆台含有从平面电机引出的线缆束（8）、X方向直线导轨滑块机构（5）、Y方向直线导轨滑块机构（6）、X方向直线电机（7）和Y方向驱动装置（9）；所述的Y方向直线导轨滑块机构（6）通过一个L型连接板（13）与X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接在一起；所述的线缆束（8）与所述的X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块连接，所述的X方向直线电机驱动X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块沿着X方向运动；所述的Y方向驱动装置（9）含有一个微型伺服电机（10）、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构（11）和一个悬臂支撑杆（12）；所述的悬臂支撑杆（12）沿Y方向布置；所述的微型伺服电机（10）设置在悬臂支撑杆（12）的固定端，所述的同步带传动机构（11）的主动轮设置在悬臂支撑杆（12）的固定端，从动轮设置在悬臂支撑杆（12）的非固定端，微型伺服电机（10）的转轴与同步带传动机构（11）的主动轮同轴布置，驱动同步带传动机构（11）的主动轮转动；同步带传动机构（11）的传动带的两端分别绕过主动轮和从动轮与所述的Y方向直线导轨滑块机构（6）的滑块固定在一起；Y方向直线导轨滑块机构（6）的导轨设置在所述的悬臂支撑杆上。

2.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的线缆台，其特征在于：在平面电机动子与线缆台之间分别安装三个光电位置探测器，其中两个光电位置探测器沿X方向对称布置在线缆束（8）的两侧，另外一个安装在平面电机动子(1)沿Y方向的侧面与悬臂支撑杆（12）之间；每个光电位置探测器包括一个光电位置传感器（18）和一个激光准直器（17），沿X方向对称布置的两个激光准直器分别固定在X方向直线导轨滑块机构（5）的滑块上，与两个激光准直器所对应的两个光电位置传感器则分别布置在平面电机动子(1)上，使每个激光准直器垂直于光电位置传感器（17）的感光面；所述的安装在平面电机动子沿Y方向侧面的激光准直器固定在Y方向直线导轨滑块机构（6）的滑块上，与安装在沿Y方向侧面的激光准直器所对应的光电位置传感器则布置在平面电机动子上，使该激光准直器垂直于光电位置传感器的感光面。

3.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的线缆台，其特征在于：在所述的Y方向直线导轨滑块机构（6）和X方向直线导轨滑块机构（5）上分别安装有X方向线性光栅尺组件（15）和Y方向线性光栅尺组件（16）。

4.按照权利要求1所述的一种用于光刻机工件台的线缆台，其特征在于：所述的线缆束（8）采用扁平的线缆排管。