[实用新型]真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构有效

专利信息
申请号: 201320531550.7 申请日: 2013-08-29
公开(公告)号: CN203440435U 公开(公告)日: 2014-02-19
发明(设计)人: 李龙哲;沈聚丰;王洪彬;孙海澄;李顺立 申请(专利权)人: 上海哈呐机电设备有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 200540 上海市金*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 真空镀膜 内壁 壁板 安装 结构
【说明书】:

技术领域

 本实用新型涉及真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构,属于真空镀膜机技术领域。

背景技术

传统真空镀膜机内壁板多采用螺栓、螺帽来实现固定,长时间使用后会受污染,而无法拆卸,此外,螺栓的螺牙结构受震动作用而容易脱落,容易引发安全隐患。

发明内容

针对上述问题,本实用新型要解决的技术问题是提供真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构。

本实用新型的真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构,它包含内壁和内壁板,所述内壁上设有卡扣装置和定位柱,所述卡扣装置包括防污染垫,防污染垫上设有插孔座,插孔座上设有弹簧固定端,弹簧固定端连接弹簧一端,弹簧另一端连接插针;所述内壁板上设有定位孔和固定孔。

本实用新型的有益效果:本实用新型安装、拆卸方便,制作简单,不会因污染而无法拆卸,固定牢固,不易掉落,可以不用工具徒手拆装,提高工作效率;插针只要利用弹簧的弹性作为固定;内壁板上开有定位孔和固定孔,装配更精确。

附图说明

为了易于说明,本实用新型由下述的具体实施及附图作以详细描述。

图1为本实用新型真空镀膜机内壁的结构示意图。

图2为本实用新型卡扣装置的俯视结构示意图。

图3为本实用新型卡扣装置的仰视结构示意图。

图4为本实用新型真空镀膜机内壁内壁板的结构示意图。

其中,1-内壁;2-内壁板;3-卡扣装置;4-定位孔;5-固定孔;6-定位柱;31-防污染垫;32-插孔座;33-弹簧固定端;34-弹簧;35-插针。

具体实施方式

如图1至图4所示,本具体实施方式采用以下技术方案:真空镀膜机内壁和内壁板的安装结构,它包含内壁1和内壁板2,所述内壁1上设有卡扣装置3和定位柱6,所述卡扣装置包括防污染垫31,防污染垫31上设有插孔座32,插孔座32上设有弹簧固定端33,弹簧固定端33连接弹簧34一端,弹簧34另一端连接插针35;所述内壁板2上设有定位孔4和固定孔5。

本具体实施方式将把初阀设置在真空室腔体上方,其优点:安装、拆卸方便,制作简单,不会因污染而无法拆卸,固定牢固,不易掉落,可以不用工具徒手拆装,提高工作效率;插针35只要利用弹簧34的弹性作为固定;内壁板2上开有定位孔4和固定孔5,装配更精确。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解,本实用新型不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理,在不脱离本实用新型精神和范围的前提下,本实用新型还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。

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