[实用新型]一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置

权利要求书

1.一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，包括由炉外罐和炉内罐（1）组成的化学气相沉积炉，其特征在于：还包括水平安装在炉内罐（1）底部的底板（2）、密封安装在炉内罐（1）上部的炉盖（3）和多层由下至上布设在炉内罐（1）内的水平隔板（4），多层所述水平隔板（4）布设于底板（2）与水平隔板（4）之间，位于最顶层的水平隔板（4）上方设置有一个呈水平向的封气板（8），上下相邻两层所述水平隔板（4）之间、封气板（8）与位于最顶层的水平隔板（4）之间以及所述底板（2）与位于最底层的水平隔板（4）之间均通过多个呈竖直向布设的石墨支撑柱（5）进行分隔，所述水平隔板（4）和底板（2）均为石墨隔板；上下相邻两层所述水平隔板（4）之间、封气板（8）与位于最顶层的水平隔板（4）之间以及所述底板（2）与位于最底层的水平隔板（4）之间均形成一个独立的沉积室，所述沉积室的数量为多个，多个所述沉积室由上至下进行布设且所述沉积室的数量为N+1个，其中N为所述水平隔板（4）的数量；多个所述沉积室的内部高度均大于需致密炭/炭坩埚坯体（9）的竖向高度；多个所述沉积室中位于顶部的沉积室为顶部沉积室，位于所述顶部沉积室下方的各沉积室的内侧中部均安装有一个竖向进气管节，每个所述竖向进气管节上均开有向所处沉积室内通入碳源气体的出气孔；所述竖向进气管节的数量为多个，多个所述竖向进气管节由上至下布设在炉内罐（1）的中心轴线上；位于最顶层的水平隔板（4）为顶层隔板，所述底板（2）中部和位于所述顶层隔板下方的各水平隔板（4）中部均开有一个将上下相邻两个所述竖向进气管节进行连通的竖向通孔；多个所述竖向进气管节中位于底部的竖向进气管节为底部管节，所述底部管节安装在底板（2）中部，所述炉内罐（1）底部安装有底部进气管（7），所述底部进气管（7）由下至上插入所述底部管节内；所述炉盖（3）的中部开有出气口（10）。

2.按照权利要求1所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述顶部沉积室的内侧中部安装有一个所述竖向进气管节，所述顶层隔板中部开有一个所述竖向通孔。

3.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述炉内罐（1）内所安装的所有竖向进气管节连接为一体并形成布设于炉内罐（1）内侧中部的竖向进气管（6），所述竖向通孔为供竖向进气管（6）安装的安装孔。

4.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：多个所述沉积室的竖向高度均相同，多个所述竖向进气管节中位于顶部的竖向进气管节为顶部管节，所述顶部管节的高度小于所述沉积室的竖向高度，所述顶部管节上所开的出气孔为所述顶部管节的上部端口；多个所述竖向进气管节中位于所述顶部管节下方的竖向进气管节上所开的出气孔均布设在所述竖向进气管节的侧壁上。

5.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述竖向进气管节和底部进气管（7）的外侧均包裹有一层保温层。

6.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述底板（2）和水平隔板（4）上均设置有多个分别供需致密炭/炭坩埚预制体（9）水平放置的石墨垫环（11）。

7.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述底板（2）的底部安装有吊装架（12），所述炉内罐（1）的内侧底部设置有供吊装架（12）水平放置的石墨环或支架（13）。

8.按照权利要求6所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述底板（2）和水平隔板（4）上均开有多个进气孔，多个所述进气孔分别布设于多个所述石墨垫环（11）的中部。

9.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述底板（2）、多层所述水平隔板（4）和封气板（8）均与炉内罐（1）呈同轴布设；所述底部进气管（7）呈竖直向布设，所述炉内罐（1）底部开有供底部进气管（7）安装的安装孔。

10.按照权利要求1或2所述的一种均匀化快速CVI致密炭/炭坩埚的装置，其特征在于：所述炉内罐（1）为耐热钢内罐；所述底板（2）和水平隔板（4）与炉内罐（1）的内侧壁之间所留出气缝隙的宽度为100mm～300mm，所述底板（2）和水平隔板（4）的厚度均为30mm～80mm；所述石墨支撑柱（5）的直径为100mm～300mm且其高度为400mm～700mm。