[实用新型]一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台

权利要求书

1.一种嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，包括基座、与固定设置于所述基座上的第一轴定位平台与第二轴定位平台，所述第一轴定位平台包括第一组动力机构与第一运动平台，所述第一组动力机构驱动所述第一运动平台水平移动；

所述第二轴定位平台包括第二组动力机构与第二运动平台，所述第二组动力机构驱动所述第二运动平台水平移动，所述第二轴定位平台固定设置于所述第一运动平台上，与所述第一运动平台同步移动；

所述第一、第二组动力机构分别包括放大机构与压电陶瓷，所述放大机构为菱形放大机构，所述压电陶瓷压紧固定于所述放大机构内部，所述压电陶瓷的两端对应于所述放大机构对称的两个顶点。

2.如权利要求1所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述第一、第二组动力机构中心线相互垂直。

3.如权利要求1所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述第一、第二轴定位平台还包括平行板柔性铰链，所述第一轴定位平台上的平行板柔性铰链的一端与所述基座固定，另一端与所述第一运动平台固定，所述平行板柔性铰链位于所述第一运动平台移动方向的前后侧；所述第二轴定位平台上的平行板柔性铰链的一端与所述第一运动平台固定，另一端与所述第二运动平台固定，所述平行板柔性铰链位于所述第二运动平台移动方向的前后侧。

4.如权利要求3所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述平行板柔性铰链包括位于所述第一运动平台移动方向前后侧对称设置的4个，以及位于所述第二运动平台移动方向前后侧对称设置的4个。

5.如权利要求1所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述放大机构的放大量为所述压电陶瓷变化量的3-5倍。

6.如权利要求1所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述放大机构上设置有预紧螺母。

7.如权利要求1所述的嵌套式菱形放大二维精密定位平台，其特征在于，所述基座上还设置有装饰封堵。