[实用新型]一种硅片清洗装置有效
| 申请号： | 201320515020.3 | 申请日： | 2013-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN203448356U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 戴洪烨;左国军 | 申请（专利权）人： | 常州捷佳创精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/00 | 分类号： | B08B11/00 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 胡朝阳;孙洁敏 |
| 地址： | 213125 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片清洗装置，包括主槽、副槽、管路和设于主槽内的传动系统，其特征在于：所述的主槽为一双层槽结构，其包括安装于机架上的下槽，由下槽槽底向上伸出并高出其顶端的上槽；所述上槽的长、宽均小于下槽；所述的传动系统设置在上槽中。
2.如权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述上槽的侧壁向下伸出一支架，该支架与下槽槽底固定。
3.如权利要求1所述的硅片清洗装置，其特征在于：所述的管路包括由副槽引出并与上槽连通的进液管路，由下槽引出并与副槽连通的回液管路；所述进液管路上设有进水泵。
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