[实用新型]一种数字式空气质量流量控制装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及自动控制领域中的一种数字式空气质量流量控制装置。 

背景技术

数字式空气质量流量控制器用于对空气质量流量进行设置、控制、测量。它在特种电路工业、化学材料、医药、化学工业、环保、真空和等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合包括：氧化、扩算、等离子刻蚀、外延、镀膜设备、离子注入、混气配气系统、光纤、毛细管测量及其它分析仪器。 

目前，国内外空气质量流量控制器的控制电路设计存在争议，器件选择缺乏实践考证，参数、算法、选择缺乏科学性。质量流量控制极易受到压强、温度、电磁干扰等外界影响，导致质量流量稳定性差、波动幅度大。所以如何设计运用便捷、稳定性好、流量波动小、响应速度快、精度高、稳定可靠、重复性好、工作温度压力范围宽、操作方便、便于与上位机或其它控制器连接的数字式空气质量流量控制器就非常必要。 

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种运用便捷、稳定性好、流量波动小、响应速度快、精度高、稳定可靠、重复性好、工作温度压力范围宽、操作方便、便于与上位机或其它控制器连接的数字式空气质量流量控制器。 

本实用新型采用的技术方案是： 

一种数字式空气质量流量控制装置，包括气体质量流量传感器和流量控制电磁比例阀与外围的控制通讯电路，其特征在于：所述的气体质量流量传感器的输出端连接信号调理电路的一个端口，所述的信号调理电路的另一端口连接STM32处理器模块的A/D端口，所述STM32处理器模块信号输出端口连接信号输出驱动电路的端口，信号输出驱动电路控制连接流量控制电磁比例阀，所述STM32处理器模块还分别连接JTAG通讯电路、CAN通讯电路、串口通讯电路的端口。

所述的一种数字式空气质量流量控制装置，其特征在于：所述的信号调理电路包括有由电阻R₁与电阻R₂串联至地构成的分压电路、电阻R₁与电容C₁构成的RC滤波器以及稳压二极管D₁与C₁并联构成的稳压电路。 

所述的一种数字式空气质量流量控制装置，其特征在于：所述的STM32处理器模块主要包括电源电路、基准电压电路、复位电路、晶振电路；所述的电源电路由芯片U₂-ASM11-3.3V为核心所构成，稳压二极管D₂、D₃与U₂-ASM11-3.3V的VIN脚并联，电容C₂、C₃与U₂-ASM11-3.3V的VIN脚并联，电容C₄、 C₅、 C₆ 、C₇ 、C₈ 、C₉ 、C₁₀与U₂-ASM11-3.3V的VOUT脚并联；所述的基准电压电路由芯片U₃-ARD4533为核心构成，电容C₁₆、C₁₇与U₃的NC脚并联，电容C₁₃、C₁₄、C₁₅与U₃的VOUT脚并联；所述的复位电路由按键K₁、C₂₂、R₅构成，其中K₁与C₂₂并联后连接U₁的NRST脚，并与R₅串联；晶振电路由X₁、C₂₀、C₂₁构成，C₂₀、C₂₁分别连接U₁的OSC_OUT脚与OSC_IN脚，X₁两端分别连接U₁的OSC_OUT脚与OSC_IN脚。