[实用新型]一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种垂直精度装置，尤其是涉及一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置。

【背景技术】

公知的，目前在太阳能硅单晶圆棒粘棒装置中，现有的粘棒机底座上的固定机构由于其结构不合理，内壁的高度低于粘棒晶托的晶托锥面上锥面的高度，因此固定装置不能对粘棒晶托进行精确的限位，造成粘棒晶托的自由度过大，导致在硅棒粘接时过大的晃动，使得粘结后硅棒的垂直度 在1～2.5mm之间，不能满足开方工艺的精度要求（粘结后硅棒的垂直度≤0.8mm），往往会造成硅晶棒开方垂直精度不合格而报废，严重影响企业效益。

【发明内容】

为了克服背景技术中的不足，本实用新型公开了一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，本实用新型通过在底座上设置晶托固定装置，并使晶托固定装置内壁的高度大于晶托锥面的上底面，以此来到达高垂直精度的目的。

为了实现所述发明目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，包括底座和晶托固定装置，在底座的上部面上设有晶托固定装置，晶托固定装置一端面与底座相连接，晶托固定装置的另一端面的内圆侧上设有锥面，粘棒晶托置于晶托固定装置内，粘棒晶托底面的外圆侧的底面设有晶托锥面，粘棒晶托外圆侧与晶托固定装置内圆侧平行重合部分长度至少为五毫米。

所述晶托固定装置为圆柱型的中空结构。

所述所述锥面为倒圆台型结构。

由于采用了上述技术方案，本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型所述的一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，包括底座和晶托固定装置，通过在底座上设置晶托固定装置，并使晶托固定装置内壁的高度大于晶托锥面的上底面，以此来到达高垂直精度的目的；本实用新型实用性强，安装和维护均比较方便，操作起来比较方便，有效解决了现有装置垂直精度不高的问题，极大提高了粘棒晶托的垂直精度，满足了客户的要求。

【附图说明】

图1是本实用新型的结构示意图；

图中：1、粘棒晶托；2、晶托固定装置；3、底座；4、锥面；5、晶托锥面。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以详细的解释本实用新型，公开本实用新型的目的旨在保护本实用新型范围内的一切技术改进。

结合附图1所述的一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，包括底座3和晶托固定装置2，在底座3的上部面上设有晶托固定装置2，晶托固定装置2一端面与底座3相连接，晶托固定装置2的另一端面的内圆侧上设有锥面4，粘棒晶托1置于晶托固定装置2内，粘棒晶托1底面的外圆侧的底面设有晶托锥面5，粘棒晶托1外圆侧与晶托固定装置2内圆侧平行重合部分长度至少为五毫米；所述晶托固定装置2为圆柱型的中空结构；所述所述锥面4为倒圆台型结构。

实施本实用新型所述的一种太阳能硅棒粘棒垂直精度装置，在使用时先时先确保晶托固定装置2与底座3的垂直精度，然后再将粘棒晶托1置于晶托固定装置2内，这时就可以在粘棒晶托1上粘接硅圆棒。

本实用新型未详述部分为现有技术。