[实用新型]焰熔法结晶炉的升降装置有效
申请号: | 201320508020.0 | 申请日: | 2013-08-20 |
公开(公告)号: | CN203420007U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 刘永言;张和国;张倩 | 申请(专利权)人: | 四川晶蓝宝石科技发展有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 623200 四川省阿坝藏族*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 焰熔法 结晶 升降 装置 | ||
1.一种焰熔法结晶炉的升降装置,用调速伺服电机(1)驱动滚珠丝杠副(7)的法兰型螺帽(7a)推动升降管(10)和结晶杆夹头(11), 其特征在于:所述滚珠丝杠副(7)一端由轴承套(3)固定,转接座(2)一端连接减速伺服电机(1),一端连接导向管(9)并固定轴承套(3);所述法兰型螺帽(7a)通过锁紧螺母(8)和升降管(10)成一体。
2.按照权利要求1所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述导向管(9)内壁固定2~6条平行键(6),在限位开关(4)所限定的上下极端位置,保证在锁紧螺母(8)外圆上对应键槽上下平稳滑动。
3.按照权利要求1所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述升降管(10)连接结晶杆夹头(11),结晶杆夹头(11)采用商品三爪卡盘。
4.按照权利要求1或3所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述减速伺服电机(1)单独驱动独立的升降机构,可以快速升降到工作位置,观察晶体生长情况进行下降微调,调速伺服电机(1)连接于PLC可程序控制器的数控系统,可以控制多个升降机构,实现自动化生产。
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