[实用新型]焰熔法结晶炉的升降装置有效

专利信息
申请号: 201320508020.0 申请日: 2013-08-20
公开(公告)号: CN203420007U 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 刘永言;张和国;张倩 申请(专利权)人: 四川晶蓝宝石科技发展有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 623200 四川省阿坝藏族*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 焰熔法 结晶 升降 装置
【权利要求书】:

1.一种焰熔法结晶炉的升降装置,用调速伺服电机(1)驱动滚珠丝杠副(7)的法兰型螺帽(7a)推动升降管(10)和结晶杆夹头(11), 其特征在于:所述滚珠丝杠副(7)一端由轴承套(3)固定,转接座(2)一端连接减速伺服电机(1),一端连接导向管(9)并固定轴承套(3);所述法兰型螺帽(7a)通过锁紧螺母(8)和升降管(10)成一体。

2.按照权利要求1所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述导向管(9)内壁固定2~6条平行键(6),在限位开关(4)所限定的上下极端位置,保证在锁紧螺母(8)外圆上对应键槽上下平稳滑动。

3.按照权利要求1所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述升降管(10)连接结晶杆夹头(11),结晶杆夹头(11)采用商品三爪卡盘。

4.按照权利要求1或3所述的焰熔法结晶炉的升降装置,其特征在于: 所述减速伺服电机(1)单独驱动独立的升降机构,可以快速升降到工作位置,观察晶体生长情况进行下降微调,调速伺服电机(1)连接于PLC可程序控制器的数控系统,可以控制多个升降机构,实现自动化生产。

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