[实用新型]掩模板清洗器

权利要求书

1.一种掩模板清洗器，其特征在于：包括依次设置的料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置，所述料台适于装载掩模板，所述清洗槽内盛装有易挥发性的清洗液，所述清洗槽设置有用于冷却所述清洗液的冷却管，所述掩模板浸泡于所述清洗液中；所述漂洗槽内盛装有漂洗液，所述掩模板清洗后，浸渍于所述漂洗液中漂洗；所述干燥装置包括干燥室和鼓风机，所述鼓风机通过管道向所述干燥室内通入无尘空气，使漂洗后的掩模板干燥。

2.如权利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：还包括机械手，所述机械手设置于一支架上，将所述掩模板在所述料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置之间进行转运。

3.如权利要求2所述的掩模板清洗器，其特征在于：所述掩模板容置于一洗篮内，所述机械手适于通过所述洗篮对所述掩模板进行转运。

4.如权利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：还包括循环泵和储液箱，所述储液箱通过所述循环泵与所述清洗槽连接。

5.如权利要求4所述的掩模板清洗器，其特征在于：还包括电控箱，所述电控箱与所述鼓风机和循环泵连接，控制所述鼓风机和循环泵启动或停止。

6.如权利要求1所述的掩模板清洗器，其特征在于：所述漂洗槽为两个，该两个漂洗槽相连通，并且设置有回流电机，使所述漂洗液在两个漂洗槽内循环流动。

7.如权利要求1～6中任一项所述的掩模板清洗器，其特征在于：还包括封闭外罩，所述料台、清洗槽、漂洗槽和干燥装置设置于所述封闭外罩内。