[实用新型]生长石墨烯用石英平台有效

专利信息
申请号: 201320506706.6 申请日: 2013-08-19
公开(公告)号: CN203451615U 公开(公告)日: 2014-02-26
发明(设计)人: 金虎;刘志成;周振义;彭鹏;王增奎 申请(专利权)人: 常州二维碳素科技有限公司
主分类号: C23C16/24 分类号: C23C16/24;C23C16/458;C30B25/12;C30B29/02
代理公司: 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 代理人: 王美华
地址: 213149 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 生长 石墨 石英 平台
【权利要求书】:

1.一种生长石墨烯用石英平台,该平台用于放置在管状的石英舟(1)中进行生长石墨烯,其特征在于:包括多块上下设置的石英平板(2)、相邻石英平板(2)之间设置有用于支撑石英平板(2)的石英柱(3),最底部的石英平板(2)下方设置有底座(4),所述底座(4)的底部形状与石英舟(1)内圈相匹配。

2.如权利要求1所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述石英平板(2)上下平行设置。

3.如权利要求1所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述底座(4)为弧形底座,底座(4)的弧度与石英舟(1)内圈相匹配。

4.如权利要求1所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述底座(4)的底部两侧安装有石英支撑滑块(5)。

5.如权利要求4所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述的石英支撑滑块(5)呈圆柱状,其外圆柱面焊接在底座(4)的底部,石英支撑滑块(5)的两端呈圆倒角。

6.如权利要求4所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述的石英支撑滑块(5)呈球形,焊接在底座(4)的底部。

7.如权利要求1所述的生长石墨烯用石英平台,其特征在于:所述的多块石英平板(2)中中间一块石英平板(2)位于石英舟(1)中部,且宽度D最宽且略小于石英舟(1)内径,以中间的石英平板(2)为界,上下两侧的石英平板(2)的宽度向上下两端逐渐递减。

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