[实用新型]水洗式尾气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造、化工制造、生物医药制造等生产废料处理领域，尤其涉及一种水洗式尾气处理装置。

背景技术

半导体生产、化工生产、生物医药制造领域中，工艺生产过程中，会产生各类有毒，刺激性的尾气，对人体及自然有害，因此，在排放尾气时需要对有毒有害气体进行相应的处理，以达到国家规定的排放标准，在排放口会加装水洗式尾气处理装置为业界普遍采用的方法。

现有的用于半导体生产或工厂排风系统等的立式水洗式尾气处理装置，如图1所示，立式水洗式尾气处理装置包括腔体11、与位于腔体11内的喷水单元14、过滤单元以及除雾网18，腔体11的顶部设有尾气排放口17，腔体11的底部设有尾气进气口12和排水口16，过滤单元包括位于腔体底部的过滤网15以及位于过滤网15之上的网状结构过滤层过滤颗粒13，喷水单元14位于过滤单元的上方，喷水单元14具有向下雾状喷水的喷口，喷口均匀布置于腔体的上部，除雾网18位于腔体的顶部。

现有的用于半导体生产或工厂排风系统等的卧式水洗式尾气处理装置，从图2可见，卧式水洗式尾气处理装置包括腔体21、与位于腔体21内的喷水单元24、过滤单元以及除雾网28，腔体21的一端设有尾气排放口27，腔体21的另一端设有尾气进气口22，下端设有排水口26，过滤单元包括位于下方的过滤网25以及位于过滤网25之上的网状结构过滤层过滤颗粒23，喷水单元24位于过滤单元的上方，喷水单元24具有向下雾状喷水的喷口，喷口均匀布置于所述腔体的顶部，除雾网28位于腔体尾气排放口侧。

然而，由于半导体工艺机台排放有毒尾气，通过水洗方式进行尾气处理，尾气有下往上排出，而喷水是从上往下喷淋，所以处理完的废气经常带有水雾，尽管除雾层可以去除一部分水雾，还会有一部分水雾被气流带入管道，影响管道的排气。需要经常对管道做排水处理，工作效率大大降低。

工厂排风系统水淋填充式尾气处理后的气体中同样带有水雾，通过气流带入风机及管道，进而影响腐蚀风机及管道，缩短设备使用寿命。

因此，如何提供一种可以可靠去除水雾并延长装置使用寿命的尾气处理装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种尾气处理装置，通过设置波纹板过滤除雾装置，增加接触面积，从而提高水雾去除效率，可以减少对后端风机及管道设备腐蚀，从而提高并延长风机及管道设备的使用寿命。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种水洗式尾气处理装置，其中包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元，其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有的排水口，喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴，过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒，除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板平行排列。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板的排布方向与废气流动方向垂直。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的任意相邻两块所述波纹板的最大间隔约为5厘米。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板由至少一个S型组成。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，波纹板的材料为聚丙烯或不锈钢。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，除湿单元内的所述波纹板的厚度为1毫米至2毫米，密布小孔的孔径为8至15毫米。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，过滤颗粒为球状体或方形体或椭球状体，底部过滤网材料为不锈钢，呈网状分布。

为了达到上述的目的，本实用新型的另一技术方案如下：

一种水洗式尾气处理装置，包括腔体、以及位于腔体内的喷水单元、过滤单元以及除湿单元，其中腔体的一端设有尾气进口，另一端设有尾气排放口，底部设有的排水口，喷水单元包括一个或多个均匀排布的喷嘴，过滤单元位于喷水单元下方，包括过滤网以及过滤网上的若干过滤颗粒，除湿单元与尾气排放口相邻，将尾气排放口与其他单元相隔离，废气经过除湿单元之后进入尾气排放口，其中除湿单元内具有多片带有小孔的波纹板及波纹板固定部，多片波纹板的一端与波纹板固定部连接，另一端悬空，其投影覆盖整个除湿单元。

优选的，在上述水洗式尾气处理装置中，多片波纹板平行排列。