[实用新型]一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件

权利要求书

1.一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其中央为电感线圈区域，两侧的表层为电极区域，

其特征在于：包括衬底（110）、一层以上形成中央电感线圈区域的电感结构的金属布线层（200）和两侧电极区域的电极（300），两侧的所述电极（300）的高度相等，不同的所述金属布线层（200）之间设置介电层（400）和介电层通孔（401）并形成介电层开口图形（410），不同的金属布线层（200）之间通过所述介电层通孔（401）进行电气连接，其中两层所述金属布线层（200）分别为金属布线层Ⅰ（210）和金属布线层Ⅱ（220），所述金属布线层Ⅰ（210）和金属布线层Ⅱ（220）分别向两侧电极区域延伸，并分别与两侧的电极（300）连接，所述金属布线层Ⅱ（220）设置于金属布线层Ⅰ（210）的上方，在最上层金属布线层（200）表面覆盖表面保护层（500），并设置表面保护层开口（501），所述表面保护层开口（501）的横截面呈矩形，其内设置与电极（300）连接的电极端子（600），所述电极端子（600）的高度相等，且不低于金属布线层（200）及其表面保护层（500）的高度。

2.根据权利要求1所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述表面保护层开口（501）的尺寸不大于电极（300）的尺寸。

3.根据权利要求1或2所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：在电极区域，所述电极（300）为金属布线层（200）的延伸。

4.根据权利要求1所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述衬底（110）与金属布线层（200）之间设置钝化层（700）。

5.根据权利要求1或4所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：在电感线圈区域，所述金属布线层（200）呈螺旋状或条形状。

6.根据权利要求1所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述金属布线层Ⅰ（210）和金属布线层Ⅱ（220）通过折弯与电极（300）同一高度后与电极（300）连接。

7.根据权利要求1所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述电极端子（600）包括凸块（601）和凸块（601）顶端的焊锡帽（602）或包括凸块（601）和包覆在凸块（601）表面的凸块保护层（603）。

8.根据权利要求7所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述电极端子（600）的凸块（601）中部以上尺寸大于表面保护层开口（501）的尺寸。

9.根据权利要求7或8所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述电极端子（600）的高度不超过20微米。

10.根据权利要求1所述的一种采用圆片级制作工艺的表面贴装电感器件，其特征在于：所述表面贴装电感器件的厚度减薄至100～200微米。