[实用新型]蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器

说明书

技术领域

 本实用新型属于晶体加工技术领域，更具体的说是一种晶体生长炉中使用的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器。

背景技术

目前，现有技术的蓝宝石晶体生长采用的方法一般是泡生法，泡生法生长蓝宝石晶体所使用的是钨棒加热器，钨棒加热器是由直径为4～10mm和一定长度的钨棒通过折弯进行组装形成笼状结构的圆形加热器，笼状加热器的直径和所需的钨棒数目根据泡生法的温场工艺条件进行选择，但是，这种笼状钨棒加热器具有如下明显的缺点：

1）由于折弯的钨棒在加工过程中引入较多的应力，使得加热器的底部容易变形断裂，使用寿命较短；

2）高温稳定性能不好，容易变形造成温场不均，影响产品质量；

3）维修维护成本较高。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种使用寿命长、高温性能稳定、温场均匀、维修维护成本较低的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器，其具体方案为：所述的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器由铜电极、钨棒、钨板、固定螺母、固定钨环组成，其特征是固定钨环设置为圆环形, 固定钨环上均匀设置钨棒, 钨棒的上端设置铜电极, 钨棒的下端设置钨板, 钨棒的上端通过固定螺母与铜电极固定连接, 钨棒的下端通过固定螺母与钨板固定连接。

本实用新型所述的铜电极，其特征在于铜电极的内部通有冷却水。

本实用新型所述的固定螺母，其特征在于固定螺母的材质采用钨或者钼的一种。

本实用新型所述的固定钨环，其特征在于固定钨环至少设置2个。

本实用新型所述的钨板，其特征在于钨板的厚度采用3～5mm。

本实用新型所述的钨棒，其特征在于钨棒的直径采用4～10mm。

本实用新型的有益效果是蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器使用寿命长，高温性能稳定，温场均匀，维修维护成本较低。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：

1.铜电极，2.钨棒，3.钨板，4.固定螺母，5.固定钨环。

具体实施方式

结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器由铜电极1、钨棒2、钨板3、固定螺母4、固定钨环5组成，其特征是固定钨环5设置为圆环形, 固定钨环5上均匀设置钨棒2, 钨棒2的上端设置铜电极1, 钨棒2的下端设置钨板3, 钨棒2的上端通过固定螺母4与铜电极1固定连接, 钨棒2的下端通过固定螺母4与钨板3固定连接。

本实用新型所述的铜电极1，其特征在于铜电极1的内部通有冷却水。

本实用新型所述的固定螺母4，其特征在于固定螺母4的材质采用钨或者钼的一种。

本实用新型所述的固定钨环5，其特征在于固定钨环5至少设置2个。

本实用新型所述的钨板3，其特征在于钨板3的厚度采用3～5mm。

本实用新型所述的钨棒2，其特征在于钨棒2的直径采用4～10mm。

本实用新型的有益效果是蓝宝石晶体生长用复合钨棒加热器使用寿命长，高温性能稳定，温场均匀，维修维护成本较低。