[实用新型]温控蓝宝石生长炉

说明书

技术领域

 本实用新型属于晶体加工技术领域，更具体的说是一种温控蓝宝石生长炉。

背景技术

蓝宝石单晶，又称白宝石，分子式为Al2O3，蓝宝石晶体具有硬度大，热导率高导热好，光学透明范围宽透过率高，热膨胀系数小，熔点高达2050度，耐高温，耐腐蚀，耐辐射等突出的物理化学性能，可以广泛应用于光学、光电子、精密机械、军事等领域中。特别是蓝宝石单晶这些优异物化的性能，使得该晶体成为目前蓝白光GaN基LED使用最为广泛的衬底，市场应用前景巨大。

蓝宝石晶体的制备方法主要有泡生法，泡生法生长的蓝宝石晶体具有尺寸大，晶体应力小，晶体的位错密度低，光学透明度高等优点，是目前使用最为广泛的产业化单晶生长方法之一。

目前，现有技术的蓝宝石晶体生长炉一般没有温度控制方案，温度控制一般采用人工肉眼观察，人工肉眼观察受观察者水平的影响较大，温度控制不稳定，影响蓝宝石晶体的生长。

发明内容

为了解决上述问题，本实用新型提供了一种设计有温度控制方案、温度控制稳定、蓝宝石晶体生长质量较高的温控蓝宝石生长炉，其具体方案为：所述的温控蓝宝石生长炉由提拉装置、电源控制器、温度传感器、欧陆控制器、钨坩埚、钨加热器、钨桶、炉体、底部保温层、钨支柱、侧面保温层组成，其特征是炉体的内侧设置侧面保温层，炉体的底侧设置底部保温层，炉体的中心轴线位置设置钨支柱，炉体的上端设置提拉装置，钨支柱的上端设置钨坩埚，钨坩埚的外侧设置钨加热器，钨加热器的外侧设置钨桶，温度传感器设置在炉体的中部钨桶的外侧，温度传感器通过欧陆控制器与电源控制器相连接。

本实用新型的有益效果是温控蓝宝石生长炉设计有温度控制方案，温度控制稳定，蓝宝石晶体生长稳定、晶体生长质量较高。

附图说明

附图1是本实用新型的结构示意图；附图1中：

1. 提拉装置，2. 电源控制器，3. 温度传感器，4. 欧陆控制器，5. 钨坩埚，6. 钨加热器，7. 钨桶，8. 炉体，9. 底部保温层，10. 钨支柱，11. 侧面保温层。

具体实施方式

结合附图1对本实用新型进一步详细描述，以便公众更好地掌握本实用新型的实施方法，本实用新型具体的实施方案为：所述的温控蓝宝石生长炉由提拉装置1、电源控制器2、温度传感器3、欧陆控制器4、钨坩埚5、钨加热器6、钨桶7、炉体8、底部保温层9、钨支柱10、侧面保温层11组成，其特征是炉体8的内侧设置侧面保温层11，炉体8的底侧设置底部保温层9，炉体8的中心轴线位置设置钨支柱10，炉体8的上端设置提拉装置1，钨支柱10的上端设置钨坩埚5，钨坩埚5的外侧设置钨加热器6，钨加热器6的外侧设置钨桶7，温度传感器3设置在炉体8的中部钨桶7的外侧，温度传感器3通过欧陆控制器4与电源控制器2相连接。

本实用新型的有益效果是温控蓝宝石生长炉设计有温度控制方案，温度控制稳定，蓝宝石晶体生长稳定、晶体生长质量较高。