[实用新型]多晶硅还原炉底盘防拉弧结构

权利要求书

1.多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，包括螺母(1)、电极座(5)、底盘下底板(6)、绝缘套(7)、电极(8)，所述电极座（5）与底盘下底板（6）固定连接，所述电极座（5）内安装有电极（8），其特征在于,还包括弹性缓冲装置，所述弹性缓冲装置与电极座（5）之间还设有绝缘杯(4)。 

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述弹性缓冲装置包括弹簧垫圈(2)以及平垫圈(3)，弹簧垫圈的一端与螺母（1）相连，另一端与所述的平垫圈（3）相连，所述的平垫圈（3）的另一端与所述绝缘杯（4）相连。 

3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述电极座（5）内安装有绝缘套（7），电极（8）设置于所述绝缘套（7）内。 

4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述绝缘杯（4）分为上下两端,上端为开有通孔的杯底（4-1）,下端为杯体（4-2）。 

5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述电极（8）穿过所述电极座（5）并穿过所述绝缘杯（4）。 

6.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述绝缘套（7）插入杯底（4-1）并接近杯底（4-1）下表面。 

7.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述杯体（4-2）内由上往下依次安装有平垫圈（3）、弹簧垫圈（2）和螺母（1），所述杯体（4-2）的尺寸与所述平垫圈（3）、弹簧垫圈（2）和螺母（1）相适应。 

8.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述绝缘杯(4)下端的杯体（4-2）为圆柱形、或多边柱形的任意一种。 

9.根据权利要求4所述的多晶硅还原炉底盘防拉弧结构，其特征在于：所述绝缘杯(4)下端的杯体（4-2）的口径为缩径口或扩散口的形式的任意一种。