[实用新型]一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀

说明书

技术领域

本实用新型涉及镀膜生产机械领域，具体涉及一种连续式真空镀膜生产线的真空腔室上的物料进出口翻板阀。

背景技术

以连续式真空磁控溅射镀膜玻璃生产线为例来说，其镀膜室须为高真空的状态，玻璃基板需要快速地进出镀膜室，即玻璃基板要在大气状态—高真空状态—大气状态之间快速切换，以实现磁控溅射生产工艺的高效生产率。现通常采用的方法是：在镀膜室前、后均布置串接的2~3个真空腔室，一级级地增加/降低真空度，譬如：在镀膜室之前的三个真腔室中，第一级真空腔室的压力调节的目标值设定为10Pa，第二级真空腔室的压力调节的目标值设定为0.1Pa；第三级真空腔室的压力调节的目标值设定为1×10^-3Pa。这些真空腔室要独立地压力调节，故各腔室之间需要设计阀门来分割和密封，当阀门打开时，其前后腔室连通，玻璃基板可以快速地从前一级腔室输送到后一级腔室；关闭时，可以对单个腔室进行压力调节。阀门的密封效果直接关系到各腔室的真空度和各腔室之间真空梯度的形成，从而影响到能否在各腔室之间快速输送玻璃基板以及镀膜室真空度的稳定性，最终将影响到整线的生产效率和镀膜质量。

现有技术中，阀门有多种，但用于上述场合，需要着重考虑阀门的密封性能，其次还要考虑阀门开闭速度和方便性，目前市面上的现成常规阀门都不是很适用。

发明内容

本实用新型目的是提供一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，以满足连续式真空镀膜生产线的各级真空腔室之间的分割和密封的需要。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种连续式真空镀膜线的真空腔室翻板阀，包括：

一阀口，该阀口为开设于真空腔室壁面上的物料传送口；

一阀板，以正面朝阀口并封盖于阀口上，阀板正面与真空腔室壁面之间绕阀口周向设有密封圈；

一主传动轴，转动支承于真空腔室壁面上，且位于阀板的侧旁；

一连杆，其第一端与主传动轴固定连接，其第二端伸至阀板的背面侧；

一枢轴，其轴线与主传动轴的轴线相平行，且由该枢轴将阀板与连杆的第二端枢轴连接，以使阀板可绕枢轴转动；

一倾角调整装置，由至少一对顶销机构组成，所述每一顶销机构包括销孔、滑动销、弹性元件以及螺钉；所述销孔朝向阀板的背面开设于连杆的第二端上，所述滑动销滑动设于销孔中，其朝阀板背面的一端上设弹性元件，其另一端处设所述螺钉，螺钉与销孔螺纹连接，以此螺钉顶压滑动销，使滑动销端部的弹性元件抵压阀板的背面；并且，所述一对顶销机构中的两个顶销机构在连杆长度方向上分列于枢轴的两侧；

一旋转驱动机构，驱动主传动轴旋转。

     上述技术方案中的有关内容解释如下：

1、上述方案中，所述阀口为矩形，且阀口以长边沿水平方向布置；所述阀板也对应为矩形；所述主传动轴平行于矩形阀口的长边设置于阀板的上方，以此阀板上下翻转打开。

2、上述方案中，所述密封圈嵌设于阀板正面上。 

3、上述方案中，所述旋转驱动机构由气缸及曲柄连杆机构组成，所述曲柄连杆机构的曲柄端部与主传动轴固定，气缸经曲柄连杆机构驱动主传动轴旋转。

4、上述方案中，所述弹性元件为橡胶压块，滑动销朝阀板背面的一端上开设一内孔，橡胶压块嵌置于该内孔中，橡胶压块的端部突出于内孔。

5、上述方案中，所述螺钉整体外周面上均设有外螺纹成一螺杆状，在螺钉突出于销孔的头部上螺纹连接有螺母。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的阀板以翻转的方式打开关闭，结构简单，打开关闭的动作速度快。并且，由于本实用新型设有倾角调整装置，在翻板阀安装调整基本到位后，可利用倾角调整装置将阀板调整到和密封面平行的状态，使密封圈上各处压缩量一致，即兼顾了阀板和被密封面之间的间隙和平行度这两个重要参数，保证了密封效果。倾角调整装置还能够有效弥补腔体及阀板的加工误差以及密封圈变形或磨损造成的密封失效，确保翻板阀长期频繁动作的密封效果。

附图说明

图1为本实用新型实施例结构主视示意图；

图2为图1的A-A剖视示意图，该图表示阀板调整前的状态；

图3为图1的B-B剖视示意图，该图表示阀板调整前的状态。