[实用新型]10～100μm固体薄膜厚度的测量装置有效
| 申请号： | 201320483855.5 | 申请日： | 2013-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN203349807U | 公开（公告）日： | 2013-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李胜利;崔雪英;敖青 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 杨琪 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 10 100 固体 薄膜 厚度 测量 装置 | ||
【权利要求书】：
1.10～100μm固体薄膜厚度的测量装置，其特征在于，包括由夹具夹持的两片氧化铝陶瓷夹片，所述的两片氧化铝陶瓷夹片之间夹有裸露的薄膜或涂覆于基底上的薄膜，所述薄膜与氧化铝陶瓷夹片或基底的衬度不同。
2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述的两片氧化铝陶瓷夹片的两侧由继电器或铷铁硼磁铁固定。
3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述薄膜为铁酸镧薄膜、锰酸镧薄膜、铬酸镧薄膜、锰酸锂薄膜或PVC薄膜，所述薄膜的尺寸小于等于25mm×50mm。
4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，所述基底为氧化铝、铝箔或二氧化硅，所述基底有一平直边，该平直边与薄膜接触，并与其中的一片氧化铝陶瓷夹片平齐。
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