[实用新型]磁场感测器

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种磁场感测器。

背景技术

随着集成电路以及机电整合技术的进步，具有导航与定位功能的电子产品也越来越多样化。电子罗盘在车用导航、飞航以及个人手持式装置的应用领域中，提供了相当于传统罗盘的功能。

目前，电子罗盘在霍尔效应感测器(Hal-effect sensor)技术的基础上，只需使用一个半导体装置就能够立体侦测磁场。此半导体装置包含磁性元件、霍尔(Hall)元件或其他感测器元件，这些元件和集成电路可一起配置在半导体芯片的表面上。然而，在制造这类半导体装置的制程中容易发生污染问题。这是因为磁性元件包含有含铁、钴或镍等磁性金属材料，其在半导体制程中容易污染其他元件。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种新颖的磁场感测器，其包含线路载板、图案化磁性薄膜及磁场感测元件，而图案化磁性薄膜设置于线路载板上。由于图案化磁性薄膜与磁场感测元件并未整合在一个半导体装置中，故不会发生磁性材料污染其他元件的问题，因而可解决已知技术所面临的问题。

本实用新型的一方面提供一种磁场感测器，包含线路载板、图案化磁性薄膜及磁场感测元件。图案化磁性薄膜设置于线路载板的表面的上方。磁场感测元件电性连接图案化磁性薄膜。

根据本实用新型的一实施方式，图案化磁性薄膜覆盖并接触线路载板的表面。

根据本实用新型的一实施方式，线路载板具有一立体结构凸出或凹入线路载板的表面，立体结构具有至少三个表面互不平行，图案化磁性薄膜设置于立体结构的三个表面的至少一者的上方。

根据本实用新型的一实施方式，立体结构为一矩形凸部，矩形凸部具有四个侧面及一顶面，图案化磁性薄膜分别设置于四个侧面的相邻的二个侧面及顶面中的至少二者的上方。

根据本实用新型的一实施方式，立体结构为一矩形凹部，矩形凹部具有四个侧面及一底面，图案化磁性薄膜分别设置于四个侧面的相邻的二个侧面以及底面中的至少二者的上方。

根据本实用新型的一实施方式，线路载板具有一第一导电孔位于线路载板内部，图案化磁性薄膜透过第一导电孔电性连接磁场感测元件。

根据本实用新型的一实施方式，图案化磁性薄膜的上视轮廓为十字形。

根据本实用新型的一实施方式，磁场感测元件设置于线路载板的表面的上方。

根据本实用新型的一实施方式，磁场感测元件设置于图案化磁性薄膜的正上方。

根据本实用新型的一实施方式，磁场感测器还包含一锡球设置于线路载板的另一表面上，线路载板的另一表面相对于线路载板的表面。

根据本实用新型的一实施方式，线路载板具有一第二导电孔贯穿线路载板，磁场感测元件透过第二导电孔电性连接锡球。

附图说明

图1A是绘示依照本实用新型的第一实施方式的图案化磁性薄膜的立体示意图；

图1B是绘示依照本实用新型的第一实施方式的磁性感测器的立体示意图；

图1C是绘示沿图1B的线段1C-1C’的剖面示意图；

图2是绘示依照本实用新型的第二实施方式的磁性感测器的立体示意图；

图3是绘示依照本实用新型的第三实施方式的磁性感测器的立体示意图；

图4A是绘示依照本实用新型的第四实施方式的磁性感测器的立体示意图；

图4B是绘示沿图4A的线段4B-4B’的剖面示意图。

具体实施方式

以下将以附图揭露本实用新型的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本实用新型。也就是说，在本实用新型部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化附图起见，一些已知惯用的结构与元件在附图中将以简单示意的方式绘示。

第一实施方式：图案化磁性薄膜的制造方法

图1A是绘示本实施方式的图案化磁性薄膜120的立体示意图。首先，可局部形成磁性材料于线路载板110的表面110a上。例如可利用光学微影(photolithographic)与蚀刻制程、网版印刷制程、喷墨涂布制程、金属遮罩沉积制程、金属遮罩蒸镀制程或其它合适的制程，形成图案化的磁性材料于线路载板110的表面110a上。上述磁性材料可包含磁粉，磁粉的材料可为铁、钴、镍、铜或其组合。