[实用新型]一种多线切割机切削液循环导流装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅片多线切割技术领域，具体涉及一种用于多线切割机金刚石线用切削液循环导流装置。

背景技术

众所周知，现代信息技术和现代电子技术的基础是半导体技术，而半导体硅材料是最重要的半导体材料。多线切割机以极高的生产效率和出片率，广泛应用于大直径超薄硅片的切割领域，多线切割机由动力系统、控制系统、砂浆循环供给系统构成，其中，砂浆循环系统通过砂浆搅拌、砂浆供给和砂浆热交换，最后由砂浆喷管喷嘴流出砂浆。金刚石线是在多线切割上开始应用的一种新型切割线材，具有成本低、加工速度高等特性，它使用水溶性切削液进行冷却循环，但是，目前的切削液冷却循环效果并不是很好。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种冷却效果良好的多线切割机切削液循环导流装置。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种多线切割机切削液循环导流装置，包括一对相对设置的导流板；所述导流板由设在多线切割机砂浆喷管与导轮之间的底板、相对于底板倾斜设置的侧板组成，侧板与砂浆喷管固定联接，并且底板与砂浆喷管之间以及底板与导轮之间均留有间隙。

其中，所述侧板与底板的倾斜角度为135度。

其中，所述两个导流板之间的距离为18cm。

其中，所述底板的长度为700cm，宽度为100cm；侧板的宽度为450cm；底板与侧板的厚度均为3cm。

其中，所述底板与多线切割机的金刚石线线网平行。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：在多线切割过程中，当金刚石线作为切割线时，切削液通过砂浆供给系统，从砂浆喷管流出后沿着导流板涌到离单晶更近的位置，减少了在线网流过的距离，降低了切削液在金刚石线线网上的渗透，从而在金刚石线线网的带动下，更好的流过单晶达到冷却单晶的目的。

附图说明

图1是本实用新型的装配示意图；

图中：1、导流板，2、砂浆喷管，3、导轮。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1所示，本实用新型为一种多线切割机切削液循环导流装置，包括一对相对设置的导流板1，两个导流板1之间的距离为18cm；导流板1由设在多线切割机砂浆喷管2与导轮3之间的底板、相对于底板倾斜设置的侧板组成，侧板与底板的倾斜角度为135度；侧板与砂浆喷管2固定联接，底板与多线切割机的金刚石线线网平行，并且底板与砂浆喷管2之间以及底板与导轮3之间均留有间隙。底板的长度为700cm，宽度为100cm；侧板的宽度为450cm；底板与侧板的厚度均为3cm。

本实用新型应用在多线切割机使用金刚石线切割过程中。多线切割机开启切削液循环，切削液通过砂浆搅拌，由砂浆供给泵抽出，进入砂浆热交换器，在交换器中交换热量后，达到适合温度后，切削液通过砂浆喷管2，在导流板1的作用下，由原来的直接向下的方向改变成先横向移动10cm后再流向金刚石线线网。这样，当有切削液从砂浆喷管2流出时，导流板1就可以将切削液送到距离单晶更近的位置，减少了在线网流过的距离，降低了切削液在金刚石线线网上的渗透，从而在金刚石线线网的带动下，更好的流过单晶达到冷却单晶的目的。