[实用新型]一种玻璃基板真空传送系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种大尺寸玻璃基板的传送系统，尤其涉及一种适用于真空系统中传送基板的传送系统。

背景技术

随着科学技术的迅猛发展，对工业工艺要求日益增高，真空技术在高科技产业化的发展中展现出广阔的应用前景，尤其体现在对真空环境要求高的数码显示面板产业中。玻璃基片材料等薄板广泛应用于薄膜晶体管显示屏(LCD-TFT，Liquid Crystal Display-Thin Film Transistor)、有机发光显示器件(OLED，Organic Light-Emitting Diode) 面板、薄膜太阳能面板应用及其他类似者的制程中，其中化学气相沉积制程(CVD，Chemical Vapor Deposition)、物理气相沉积制程 (PVD，Physical Vapor Deposition)、有机物质蒸镀、磁控溅射沉积或蚀刻制程均需要在真空密封环境下进行。如有机发光二极管的蒸镀制程，其沉积物为呈蒸汽状的有机物质，如有空气、水汽等存在的话极易与有机蒸镀材料发生反应进而改变基片上的沉积物成分，影响其发光效应。由于此类制程的工艺要求比较严格，即必须在真空状态下以及完全洁净的空间环境中进行，因此，有必要提供一种高清洁度、无污染、结构简单紧凑、能够平稳、快速有效地同步传送基板以及具有较高可靠性的真空基板传送系统。

实用新型内容

针对现有技术的上述不足，本实用新型旨在提供一种玻璃基板真空传送系统，该真空传送系统可实现真空系统中大尺寸玻璃基板的全自动传送，确保玻璃基板可以平稳、快速的在各工艺腔室内的相互传送。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

一种玻璃基板真空传送系统，其结构特点是，包括真空腔体和位于真空腔体内的滚道，装在真空腔体内的用于装载玻璃基板的基板装载小车，驱动该基板装载小车在所述滚道上移动且位于真空腔体外侧的驱动装置；所述驱动装置的传动轴通过至少一个传力部件与所述基板装载小车相连，穿过真空腔体的该传力部件与真空腔体壁面之间设有密封部件。

由此，基板装载小车在驱动装置的作用下，沿着真空腔体内的滚道实现载片运动。

以下为本实用新型的进一步改进的技术方案：

进一步地，所述基板装载小车包括装载框架，设置在装载框架底部的底部滚轮，设置在装载框架一个侧壁上的侧向滚轮，以及设置在装载框架另一个侧壁上的摩擦条；所述侧向滚轮和底部滚轮分别与呈L形的所述滚道接触；所述驱动装置的传动轴通过同步带驱动至少一个传力部件与所述基板装载小车的摩擦条相连。

更进一步地，所述密封部件为装在真空腔体外壁面上的密封罩；所述传力部件包括通过轴承装在密封罩上的主动磁套环，该主动磁套环上装有同步带轮，所述主动磁套环与一装在内传动轴底端的随动磁套环配合传动，所述内传动轴通过安装座装在真空腔体的壁面上，所述内传动轴顶端装有摩擦轮，该摩擦轮与所述摩擦条摩擦传动。由此，所述传力部件采用永磁体的磁力作用将动力从真空腔体外传送至真空腔体内，实现静密封真空动力传递。

作为一种具体的实现基板装载小车传动的结构形式，所述摩擦轮为传动齿轮。当然，摩擦轮还可以为摩擦胶轮等，依靠摩擦力驱动基板装载小车传动即可。

作为一种具体的结构形式，所述主动磁套环与随动磁套环上均装有永磁体。

更进一步地，所述摩擦条为胶条，当然，当摩擦轮为传动齿轮，摩擦条也可以为齿条，只要驱动基板装载小车传动即可。由此，真空腔体内采用传动齿轮压紧基板装载小车侧面胶条的传动方式，传动齿轮的旋转带动小车前后运动。

藉由上述结构，本实用新型所述玻璃基板真空传送系统包括真空腔体、基板装载小车、传力部件三大部分。基板装载小车由装载框架、底部滚轮、侧向滚轮、胶条组成，装载框架上可以装载大尺寸玻璃基板。所述真空腔体内设计有基板装载小车传送用滚道，分别与小车底部滚轮和侧向滚轮接触。所述的传力部件，包括电机、同步带传动和密封传动。若干密封传动均匀分布，单个密封传动由双同步带轮、主动磁环套、轴承、密封罩、随动磁环套、安装座、内传动轴、传动齿轮组成，密封罩安装在真空腔体底板上，为中空钟罩型，并在钟罩顶部朝外形成凸台，主动磁环套与双同步带轮紧固连接，通过两个轴承安装在密封罩凸台上，可以凸台为轴旋转。固定座安装在真空腔体内，与密封罩同心，内传动轴安装在安装座上，可自由旋转，其下端装有随动磁环套，上端装传动齿轮。所述的主动磁环套与随动磁环套上都装配有圆周分布的若干永磁体。所述的传动齿轮与基板装载小车胶条过盈装配，压紧胶条，压紧力度要合适，过松则容易造成小车打滑，过紧则容易损坏胶条。