[实用新型]太阳能电池扩散尾气处理装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及尾气处理设备领域，更具体地，涉及一种太阳能电池扩散尾气处理装置。

背景技术

晶硅太阳能电池已经被大规模应用到各个领域，其良好的稳定性和成熟的工艺流程是其大规模应用的基础，然而随着技术和市场的发展，降低生产成本成为最重要的事情。其中扩散工序是生产中最重要的一步，现有的扩散工序的成本较高，不能满足生产企业的要求。

造成太阳能电池片生产成本高的因素有很多，其中，现有的太阳能电池扩散尾气处理装置成本过高就是原因之一。参见图1所示，在现有的太阳能电池扩散尾气处理装置中，工艺气体输送管道20a的入口和尾气的出口均设置在扩散石英炉管10a的炉门13a的相对端，如果要排尾气，就需要将尾气输出管道30a伸入到扩散石英炉管10a的炉门处，从而将尾气排出扩散石英炉管10a外。此时，需要的尾气输出管道30a很长，增加了企业的生产成本，与此同时，尾气输出管道的这种设置方式也不利于尾气的排泄。

实用新型内容

本实用新型旨在提供一种太阳能电池扩散尾气处理装置，以解决现有技术的太阳能电池扩散尾气处理装置成本较高的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型的提供了一种太阳能电池扩散尾气处理装置，该太阳能电池扩散尾气处理装置包括：扩散炉管，包括炉门，扩散炉管的远离炉门的一端设置有工艺气体入口，靠近炉门的一端设置有尾气出口；尾气输出管道，与尾气出口相连通，用于输送扩散尾气。

进一步地，尾气输出管道为L型石英管。

进一步地，太阳能电池扩散尾气处理装置还包括尾气处理机构，尾气输出管道与尾气处理机构连通。

进一步地，尾气处理机构包括密闭的残液罐，尾气输出管道伸入残液罐的底部。

进一步地，尾气处理机构还包括尾气排泄管道，尾气排泄管道用于将残液罐中的尾气排出残液罐。

进一步地，尾气排泄管道的第一端与残液罐相连通且位于残液罐上端，第二端为伸出残液罐的排泄自由端。

进一步地，尾气出口到炉门的距离在30cm至50cm的范围内。

进一步地，太阳能电池扩散尾气处理装置还包括：工艺气体输送管道，与工艺气体入口相连通，用于向扩散炉管通入工艺气体。

进一步地，尾气出口的直径在1cm至3cm的范围内。

应用本实用新型的技术方案，太阳能电池扩散尾气处理装置包括扩散炉管和尾气输出管道，其中扩散炉管包括炉门，扩散炉管的远离炉门的一端设置有工艺气体入口，靠近炉门的一端设置有尾气出口；尾气输出管道与尾气出口相连通，用于输送扩散尾气。根据本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置，尾气输出管道与设置在靠近炉门的一端的尾气出口相连通，避免了以往的尾气出口设置在与炉门相对的一端时，需要将的尾气输出管道从扩散炉管的与炉门相对一端伸入到炉门端而造成的尾气输出管道的浪费，大大降低了企业的生产成本。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1示意性示出了现有的太阳能电池扩散尾气处理装置的俯视图；

图2示意性示出了本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置的俯视图；以及

图3示意性示出了本实用新型的太阳能电池扩散尾气处理装置的左视图。

附图标记说明：10、扩散炉管；11、工艺气体入口；12、尾气出口；13、炉门；20、工艺气体输送管道；30、尾气输出管道；40、尾气处理机构；41、残液罐；42、尾气排泄管道。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明，但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。

术语解释：

尾气输出管道管：一种排放尾气的石英管，这里的尾气指扩散工艺气体在硅片表面形成PN结后残余的所有气体。

残液罐：在尾气进入总排气管之前，需要经过一个石英罐冷却由炉管直接排出的尾气，这个石英罐称之为残液罐。