[实用新型]可降低破片率的晶舟纽扣有效
申请号: | 201320470404.8 | 申请日: | 2013-07-24 |
公开(公告)号: | CN203644738U | 公开(公告)日: | 2014-06-11 |
发明(设计)人: | 敖淑恒;吴小刚;龚小文;欧阳剑;李峰 | 申请(专利权)人: | 江西升阳光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
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地址: | 338000 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 降低 破片 纽扣 | ||
技术领域:本实用新型涉及一种晶体硅太阳能电池镀减反射膜晶舟中的晶舟纽扣,特别是一种可降低破片率的晶舟纽扣。
背景技术:在太阳能电池片的生产过程中,其中有一工序是将硅片放到石墨晶舟中对硅片表面进行钝化处理,是通过生产线上的机械手臂自动将硅片装卸到石墨晶舟中,每一硅片都是通过石墨晶舟槽内一侧的三个纽扣进行固定后进行钝化。但是,在该工序中,晶舟内经常出现色差片、破片、甚至出现因为导电不良而报警退舟停止生产的现象,破片率较高;产生该问题的原因,主要在于石墨晶舟槽内的纽扣设计不当所至。现有晶舟纽扣的结构,参见附图1,它由纽基1、纽轴2和扣片3组成;它设计不当的原因在于,1、扣片3为长方形结构,机械手臂在装卸硅片插入时容易碰到扣片3的上端,从而易造成硅片的破损或隐裂;2、纽基1与扣片3之间的距离即纽轴2为2.5mm,该距离较宽,硅片在插入后存有较大的间隙,没有形成好的接触,容易出现导电不良并导致镀膜不均匀而出现色差片的现象,使还工率高,影响产能。
发明内容:本实用新型的目的在于,针对现有晶舟纽扣在使用中存在的不足,而提出一种设计合理、硅片插入时顺畅且插入后紧密接触好,可降低破片率的晶舟纽扣。
通过下述技术方案可实现本实用新型目的,一种可降低破片率的晶舟纽扣,包括纽基、纽轴、扣片,其特征在于,扣片与纽基相对边的上端和下端设有倒角,扣片与纽基相对边的直线段与纽基的距离为1.5mm。
扣片上端和下端的倒角为50~80°。
本实用新型的效果在于:1、破片率降低,与现有技术比较,可降低60%的破片率,这在于本装置扣片的上下端采用了倒角设计,该设计使得机械手臂在装卸硅片时硅片能较顺畅的插入到槽内,避免了现有技术中硅片容易碰到扣片端部的弊端,从而使破片率下降;2、还工率低,产能提高,生产成本降低,这在于,本装置的扣片与纽基相对边的直线段与纽基的距离设为1.5mm,该间隔使得硅片在插入槽内后贴靠紧密,接触好,不容易出现导电不良并导致镀膜不均匀而出现色差片的现象,从而大幅度降低还工率并提高产能,降低生产成本。
下面结合附图及实施例对本实用新型进一步阐述:
附图说明:
附图1为现有晶舟纽扣的结构示意图。
附图2为本实用新型实施例1的结构示意图。
附图3为本实用新型实施例2的结构示意图。
具体实施方式:
实施例1:参见附图2,一种可降低破片率的晶舟纽扣,它由纽基1、纽轴2、扣片3组成,扣片3与纽基1相对边的上端和下端设有倒角,扣片3与纽基1相对边的直线段与纽基的距离为1.5mm。扣片3上端和下端的倒角为58°。
实施例2:参见附图3,一种可降低破片率的晶舟纽扣,它由纽基1、纽轴2、扣片3组成,扣片3与纽基1相对边的上端和下端设有倒角,扣片3与纽基1相对边的直线段与纽基的距离为1.5mm。扣片3上端和下端的倒角为71°。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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