[实用新型]一种合金型二次电子发射材料激活装置有效
| 申请号： | 201320468739.6 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN203481177U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王彬;熊良银;李明群;葛鹏;刘实 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 二次电子 发射 材料 激活 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室；
其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气压表用于监测气体反应制备室与贮气瓶内的气压。
2.按照权利要求1所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述反应室外设有加热装置。
3.按照权利要求2所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述加热装置为管式电阻炉。
4.按照权利要求1所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述反应室为石英管。
5.按照权利要求1所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述气体反应制备室为石英管，可进行加热制备高纯度氧化性气体。
6.按照权利要求5所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述气体反应制备室带有备用接口，可从外部引入氧化性气体。
7.按照权利要求1所述合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述真空系统包括机械泵、分子泵和复合真空计，其中机械泵和分子泵串联后，与反应室相连，复合真空计用于测量反应室内真空度。
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