[实用新型]移载装置

权利要求书

1.一种移载装置，适于输送一基板；其特征在于：该移载装置包含

一基座，包括一呈水平延伸的轨道，该轨道具有两个位于相反侧的末端；及

一第一移载机构，包括

一第一移载单元，具有一滑接于该轨道并沿一水平方向相对该轨道滑动的第一水平滑移件、一连设于该第一水平滑移件的第一连接件、一设置于该第一水平滑移件的第一驱动马达，及一与该第一水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第一吸盘；

一第一轨道，呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间；

一第一垂直滑移件，滑接于该第一轨道并沿一垂直方向相对该第一轨道滑动；及

一第一刚性风管组，包括一枢接于该第一连接件的第一端，及一枢接于该第一垂直滑移件的第二端，

该第一水平滑移件带动该第一吸盘在一第一位置及一第二位置间移动，于该第一位置，该第一吸盘吸附该基板，于该第二位置，该基板脱离该第一吸盘。

2.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一刚性风管组具有一枢接于该第一连接件的第一旋转接头、一枢接于该第一垂直滑移件的第一接头，及一连接于该第一旋转接头与该第一接头的第一刚性风管，该第一端是位于该第一旋转接头，该第二端是位于该第一接头。

3.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一轨道为一导轨，该第一垂直滑移件为一导块。

4.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一轨道为一滑轨，该第一垂直滑移件为一滑块。

5.根据权利要求1所述移载装置，其特征在于：该第一吸盘具有一第一吸附面，及多个彼此相间隔且自该第一吸附面凹陷形成的第一吸气孔。

6.根据权利要求1所述移载装置，还包含一第二移载机构，该第一移载机构与该第二移载机构分别左右设置该基座的两相对位置，该第二移载机构包括一第二移载单元、一第二轨道、一第二垂直滑移件，及一第二刚性风管组，该第二移载单元具有一滑接于该轨道的第二水平滑移件、一连设于该第二水平滑移件的第二连接件、一设置于该第二水平滑移件的第二驱动马达，及一与该第二水平滑移件间隔设置且用于吸附该基板的第二吸盘，该第二水平滑移件相对于该第一水平滑移件一侧设置并沿该水平方向相对该轨道滑动，该第二轨道呈垂直延伸，并位于该轨道下方，且介于所述两末端之间，该第二垂直滑移件滑接于该第二轨道并沿该垂直方向相对该第二轨道滑动，该第二刚性风管组包括一枢接于该第一连接件的第三端，及一枢接于该第二垂直滑移件的第四端，该第二水平滑移件带动该第二吸盘在该第二位置及一第三位置间移动，于该第二位置，该第二吸盘吸附该基板，于该第三位置，该基板脱离该第二吸盘。

7.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二刚性风管组具有一枢接该第二连接件的第二旋转接头、一枢接于该第二垂直滑移件的第二接头，及一连接于该第二旋转接头与该第二接头的第二刚性风管，该第三端是位于该第二旋转接头，该第四端是位于该第二接头。

8.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二轨道为一导轨，该第二垂直滑移件为一导块。

9.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二轨道为一滑轨，该第二垂直滑移件为一滑块。

10.根据权利要求6所述移载装置，其特征在于：该第二吸盘具有一第二吸附面，及多个彼此相间隔且自该第二吸附面凹陷形成的第二吸气孔。