[实用新型]研磨装置

权利要求书

1.一种研磨装置，其特征在于，所述装置包括：

研磨单元和研磨调整单元；所述研磨单元包括研磨头和若干第一传感器，所述第一传感器设置于所述研磨头的边缘；研磨调整单元包括若干第二传感器、研磨调整器、旋转单元以及限位单元；其中，所述限位单元与所述旋转单元连接，所述研磨调整器与所述旋转单元连接，所述第二传感器设置于所述研磨调整器的边缘。

2.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨单元还包括研磨垫，所述研磨垫与所述研磨头和研磨调整器的下表面接触。

3.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨头与所述研磨调整器的距离范围大于等于5mm。

4.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨调整单元还包括旋转臂和旋转盘，所述旋转臂一端与所述旋转盘连接，所述旋转臂另一端与所述研磨调整器连接，所述限位单元与所述旋转盘连接。

5.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述第一传感器和第二传感器均为位置传感器。

6.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述第一传感器和第二传感器均为压力传感器。

7.如权利要求1所述的研磨装置，其特征在于，所述限位单元包括动态部件、静态部件以及限位螺丝；所述动态部件与所述静态部件连接；所述限位螺丝分为两个，分别固定在所述动态部件与静态部件相对的表面上。

8.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，两个所述限位螺丝的初始位置范围是3cm～5cm。

9.如权利要求7所述的研磨装置，其特征在于，所述研磨装置还包括马达、驱动器以及控制器，所述马达与所述动态部件连接，所述驱动器与所述马达连接，所述控制器与所述驱动器连接。