[实用新型]真空吸附式涂布机有效
申请号: | 201320453647.0 | 申请日: | 2013-07-26 |
公开(公告)号: | CN203513497U | 公开(公告)日: | 2014-04-02 |
发明(设计)人: | 姚亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
主分类号: | C03C17/00 | 分类号: | C03C17/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 韩国胜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空 吸附 式涂布机 | ||
1.一种真空吸附式涂布机,包括机台、多个均匀布设在该机台上的真空吸孔和总控电路;所述各真空吸孔均通过真空管路与抽真空装置连接,其特征在于,在所述真空管路上设有多个电磁阀单元,所述电磁阀单元与所述总控电路连接,且与各所述真空吸孔一一对应。
2.根据权利要求1所述的真空吸附式涂布机,其特征在于,所述真空管路包括总管和连接在该总管上的多个支路管,所述各支路管分别对应连接一个真空吸孔,所述总管上对应连接有抽真空装置;所述电磁阀单元与所述支路管对应设置。
3.根据权利要求2所述的真空吸附式涂布机,其特征在于,所述各支路管上均设有用于控制支路管管径大小以调整其真空压力的支路管电控蝶阀;所述支路管电控蝶阀与所述总控电路连接。
4.根据权利要求3所述的真空吸附式涂布机,其特征在于,所述总管上设有用于控制总管管径大小以调整其真空压力的总管电控蝶阀;所述总管电控蝶阀与所述总控电路连接。
5.根据权利要求1-4其中之一所述的真空吸附式涂布机,其特征在于,还包括设置在所述机台上的用于实时监测机台压力的压力传感器,所述压力传感器与所述总控电路连接。
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